Способ высоковакуумной откачки газа от атмосферного давления

Способ высоковакуумной откачки газа от атмосферного давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Мо 145689

Класс 27d, Зо1

СССР

СПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

11одпасная группа Л" 129

Е. Н. Мартинсон и Ю. T. Путятин

СПОСОБ ВЫСОКОВАКУУМНОЙ ОТКАЧКИ ГАЗА ИЗ КАМЕРЫ, ИМЕЮЩЕЙ АТМОСФЕРНОЕ ДАВЛЕНИЕ

Заявлено 22 июля 1961 г, за М 739677/26-8 в Комитет ио иелам изобретений и открытий нри Совете,Чнниетров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» Хв 6 за 1В62 г.

Известные способы высоковакуумной откачки газа из камер, имеющих атмосферное давление, системой насосных агрегатов предусматривают применение в системе откачивающих агрегатов форвакуумных насосов. Применение для указанной цели фо-,.вакуумных насосов приводит к загрязнению вакуума, усложняет эксплуатацию системы, в которой часть насосов находится в рабочем состоянии, а другая часть лолучает обезгаживание при,помощи нагрева.

Описываемый способ не имеет указанного недостатка и обеспечивает высокий вакуум без его загрязнения. Это достигается тем, что непрерывную откачку газа осуществляют однотипными сорбционными цеолитовыми насосами, На фиг. 1 показана примерная схема откачивающей системы с цеолитовыми насосами; на фиг. 2 — камера насоса в разрезе (общий вид).

В откачивающую систему включаются однотипные цеолитовые насосы в количестве четырех пар. Первая пара насосов 1 и 2 осуществляет функции форвакуумных насосных агрегатов и злроизводит откачку от атмосферного давления до давления 10 — — 10 — з мм рт. ст. Вторая пара насосов 8 и 4 осуществляет функции высоковакуумных насосных агрегатов и производит откачку от давления 10 †— 10 — з до давления

10 — — 10 — в мм рт. ст. Третья пара насосов 5 и б осуществляет функции сверхвакуумных насосных агрегатов и производит откачку от давления 10 — — IO — до давления 10- — 10 —" мм рт. ст. Четвертая пара насосов 7 и 8 является резервной и включается в работу в период отключения какой-либо пары на обезгаживание.

Камера насоса (фиг. 2) представляет собой цилиндрический сосуд 9, выполненный из нержавеющей хромоникелевой стали. Внутри сосуда установлен стальной сетчатый цилиндр 10. Внешняя поверхность цилин¹ 145689 дрического сосуда покрыта обмоткой 11 электронагрева, а в зазор между сетчатым цилиндром и сосудом уложены таблетки 12 цеолита. Цилиндрический сосуд с обмоткой, сетчатым цилиндром и цеолитовыми таблетками вставляется в сосуд Дюара И, заливаемый для охлаждения жидким азотом.

Цеолит во всех насосах соединен с атмосферой и одновременно прокаливается в течение 48 час при температуре 350 †6 . После перекрытия выхлопных вентилей 14 (фиг. 1) производится последовательное охлаждение цеолита жидким азотом и откачка среды из объема 15.

После откачки объема 15 при температуре 15 — 18 до давления

10 вЂ,н я рт. ст он обезгаживается нагреванием до 400, затем откачивается до глубокого вакуума

Включение и выключение всех вакуумных вентилей может производиться автоматически через определенные промежутки времени или по достижении установленного вакуума.

Всесоюзный научно-исследовательский и конструкторский институт химического машиностроения в своем заключении отметил целесообразность применения описываемого способа как для лабораторных, так и для промышленных установок, особенно когда невозможно или нежелательно использование в системе откачки механических и струйных вакуумных насосов.

Предмет изобретения

Способ высоковакуумной откачки газа из камеры, име ошей атмосферное давление, системой насосов, обеспечивающих последовательное повышение вакуума, в которых обезгаживание сорбента, прн его восстановлении, осуществляется нагревом, отличающийся тем, что, с целью получения высокого вакуума без его загрязнения, непрерывную откачку газа осуществляют однотипными сорбционными цеолитовыми н а соса ми.

Фиа1 № 145689

Фиг 2

Составитель С. E. Вагин

Редактор Т. Ф. Загребельная Техред А. А. Камышникова Корректор И. А. Шпынева

Поди. к печ. 20Х1-62 г. Формат бум. 70)jl08 /„ Объем 0,26 изд. л

Зак. 5768 Тираж 1000 Цена 4 кап

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М, Черкасский пер., д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14