Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок

Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 42Ь, 12вв № 145756

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Пог/пнгная группа Л0 1б4

В. Ф. Швец

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫИ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ТОНКИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК

Заявлено 4 апреля 1961 г. за ¹ 724856/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бк ллетене изобретений» № 6 за 1962 г.

Известные интерференционные способы измерения толщины тонких прозрачных пленок с известным показателем преломления на интерференционном оптическом приборе, основанные на использовании поляризованного света путем сравнения измеряемой пленки с эталоном по цвету сложны и не обеспечивают высокой точности измерения.

В предлагаемом способе эти недостатки устранены тем, что для измерения используют отраженный свет от передней и задней (внутренней) поверхности пленки.

На фиг. 1 изображено сечение исследуемой пленки; на фиг. 2— схематическое изображение систем интерференционных полос, ооразованных белым светом.

В наблюдаемой интерференционной картине, образованной белым светом, падающим нормально к поверхности пленки и отраженным от наружной 1 и внутренней 2 ее поверхностей, измеряют расстояние между двумя парами ахроматических полос и между соседними полосами.

С этой целью измеряемую пленку устанавливают вместо одного из зеркал интерферометра.

i. (2ьй

Толщина пленки: d = — (К где л — длина волны света;

4„ h

n - показатель преломления материала пленки; Л6 — расстояние между двумя парами ахроматических полос; h — расстояние между соседними полосами.

Предлагаемый способ позволяет производить измерения c2мых licпрочны.; пленок, так как он является бесконтактным. Для осуществления описанного способа может быть использован, например м .кроинтерферометр МИИ-4, выпускаемый отечественной промышленность|о.

Ло 145756

lIpсдмет изобретения

Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок с известным показателем преломления на интерференционном оптическом приборе, отличающийся тем, что, с целью упрощения определения толщины пленки, в наблюдаемой интерференционной картине, образованной белым светом, падающим нормально к поверхности пленки и отраженным от наружной и внутренней ее поверхностей, измеряют расстояние между двумя парами ахроматических полос и между соседними полосами. — 1

<Риа. 1

xporramu vecкие по,ассы

Фиг 2

Рс:iëê.ор Н. С. Кутафина 1 етре.i A. А. Камышиикова Корректор В Андрианов

1Ч,, > Формат ми,, ОХ 108, JQ Г)бием 0,1К il зд.

Тираж 7ЗО Ilcíà 1 к, и

1(Б (И Комитета по делам изобретений H открытий ilpH Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2, 6

Типография ЦВЕТИ, Москва, Петровка, 14.