Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов

Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов. Целью изобретения является повьшение скорости травления и уменьшения бокового подтравливания. Раствор для фотохимического .фрезерования меди и медных сплавов содержит, мае.ч.: соляная кислота 5,26-30j70, перекись водорода 7,16-30,37; динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты 0,05-3,50; хлорид никеля 0,01- 0,88; вода 87,52-34,55. Ввведение раствора хлорчда никеля и использование в качестве перекисного соединения пеа рекиси водорода способствует повышению скорости травления и уменьшению бокового подтравливания. 1 табл. (Л

„.SU„„1458430

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 С 23 F 1/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И (ЛНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4292387/31-02 (22) 30.07.87 (46) 15.02.89. Бюл. У 6 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" и Ярославский политехнический институт (72) А.Н. Чебунин, А.А. Киселев, В.В. Смирнов, С.В. Казина, Е.Г. Степанов и Е. А. Смирнова (53) 621.7.025(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

IIj 929738, кл. С 23 Р 1/04, 1980.

Авторское свидетельство СССР

1! 293066, кл. С 23 F I/00, 1970.

Авторское свидетельство СССР

II 597739, кл. С 23 F 1/02, 1972. (54) РАСТВОР ДЛЯ ФОТОХИМИЧЕСКОГО ФРЕЗЕРОВАНИЯ МЕДИ И МЕДНЫХ СПЛАВОВ

Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов.

Цель изобретения — повышение скорости травления и уменьшение бокового подтравливания.

Изобретение может быть проиллю- . стрировано следующими примерами.

Пример 1. В 100 мл воды растворили 0,5 г динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты, добавляли в раствор 0,01 г хлорида никеля ° при этом образовалось комплексное соединение. Отдельно готовили раствор из 45 мл соляной кислоты (уд. вес

1,19), 65 мл перекиси водорода (уд ° (57) Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фреэерования меди и медных сплавов. Целью изобретения является повьппение скорости травления и уменьшения бокового подтравливания. Раствор для фотохимического .фрезерования меди и медных сплавов содержит, мас.ч.: соляная кислота 5,26-30,?О; перекись водорода 7,!6-30,37; динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты 0,05-3,50; хлорид никеля 0,010,88; вода 87,52-34,55. Ввведение раствора хлорида никеля и использование в качестве перекисного соединения пе- а рекиси водорода способствует повышее нию скорости травления и уменьшению бокового подтравливания. 1 табл. вес 1,12) и 70 ип воды, после чего растворы смешивали.

Процесс химического фрезерования заготовок из меди и медных сплавов (толщиной 0,2 мм) проводили при 2025 С в растворе следующего состава, мас.%:

Соляная кислота (уд. вес. I 19) 5,26

Перекись водорода (уд. вес 1, 12) 7,16

Динатриевая соль этинендиаминтетрауксусной кислоты 0,05

Хлорид никеля 0,01

Вода 87,52

Скорость фрезерования составляла

18 мг/см мин при подтраве 10-12 мкм.

1458430

24, 92

30,37

Пример 2. Раствор готовили аналогично примеру 1 из 245 мл соляной кислоты (уд. вес. 1,19), 245 мл перекиси водорода (уд. вес ° 1,12), 20 г динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты., 5 r хлорида никеля и 510 мл воды. Он имел следующий состав, мас.7.:

Соляна кислота (уд,вес 1,19) 26,48

Перекись водорода (уд. вес 1, I 2)

Динатриевая соль этиламинтетрауксусной кислоты 1,82

Хлорид никеля 0,45

Вода 46,33

Скорость фреэерования составляла для заготовок из меди 65 мг/см мин при подтраве 1! 13 мкм.

Пример 3. Раствор готовили аналогично примеру 1 из 295 мл соля— ной кислоты (уд. вес. 1,19), 310 мл перекиси водорода (уд.вес 1,12), 40 r динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты, 10 г хлорида никеля и 395 мл воды. Раствор имел следующий состав, мас.ч.:

Соляная кислота (уд, вес. 1„19) 30,70

Перекись водорода (уд. вес. il,12)

Динатриевая соль этшщиаминтетрауксусной кислоты 3,50

Хлорид никеля 0,88

Вода 34,55

Скорость фрезерования составляла

55 мг/см мин при подтраве. 157.

17 мкм.

Для подтверждения положительного эффекта, возникающего при использова10

5,26-30,70

7,16-30,37

Соляная кислота

Перекись водорода

Динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты

Хлорид никеля

Вода

0,05-3,50

О, 01-0,88

87,52-34,55 нии предлагаемого раствора для травления меди и ее сплавов, подвергали фрезерованию заготовки из бронзы

БРБ-2 и латуни Л-63. Были опробованы составы по примерам 1,2,3 при тех же условиях: t 20-25 С, толщине заготовки 0,2 мм. Кроме того, были проведены испытания известного раствора.

Результаты проведенных испытаний представлены в таблице.

Использование предлагаемого раствора обеспечивает высокую скорость травления деталей при незначительном боковом подтравливании, позволяющем максимально приблизиться к геометрическому профилю и размерам, что создает необходимые условия для улучшения качества готовых изделий и производительности труда.

Формула изобретения

Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов, содержащий соляную кислоту, перекисное соединение, динатриевую соль этилендиаминтетрауксусной кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью повьппения скорости травления и уменьшения бокового подтравливания, он дополнительно содержит хлорид никеля, а в качестве перекисного соединения — перекись водорода при следующем соотношении компонентов., мас ° ч.:

1458430

МатеСостав раствора для химфрезерования, мас.ч.

Подтрав, мкм

Перекись

Хло рид никеля

СоляВода ная кислоэтйлен18

0,46 — 64,63 21

Прототип 27,52

Модель М-1

I 5,26

7,39

О,OI 87,52 22

0,05

7,16

1,82 0,45 46, 33 65

2 26,48 24, 92

3 30 70 30 37

0,88 34,55 55

3,50

Бронза

БРБ-2

1 5,26

005 001 87 52 22

1,82 0,45 46,33 80

3,50 0,88 34,55 67

7,16

2 26,48 24,92

3 30,70 30,37

Латунь

Л-63

1 526 716

0,05 0,01 87,52 22

l,82 0,45 46,33 32

2 26,48 24,92

3 30,70 30,37

3,50 0,88 34,55 27

Составитель Т. Гугнина

Техред Л.Олийнык

Корректор Г. Решетник

Редактор Н. Киштулинец

Заказ 331/31 Тираж 938 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, iK-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r . Ужгород, ул. Проектная, 4 риал по примеру та уд.вес

1,19 водорода уд. вес

1,12

Монопе рокксигид-, рат карбамнда

Динатриевая соль диаминтетраук. сусной кислоты

Скорость травления, мг/см мин

) 0-12

11-13

l5 17

10-12

l0-l2

l 5-17

10-! 2

10-12

15-1 7