Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей

Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле высокоточных оптических деталей, например пробньлс стекол. Цель изобретения - повьшение точности контроля за счет обеспечения точной фокусировки автоколлимационного микроскопа на центр кривизны контролируемой поверхности. Последовательно фокусируют автоколлимационный микроскоп 1 на центр кривизны контролируемой поверхности 2 и на саму поверхность. Перед фокусировкой на центр кривизны контролируемой no-i верхности 2 между объективом автоколлимационного микроскопа 1 и контролируемой поверхностью 2 устанавливают плоскопараллельную пластину 4, на обращенную к контролируемой поверхности 2 сторону которой нанесено.светоделительное покрытие. Автоколлима - ционный микроскоп 1 фокусирует на светоделительное покрытие плоскопараллельной пластины 2, жестко соединяют между собой автоколлимационный микроскоп 1 и светоделительную пластину 4, а половину апертуры объектива автоколлимационного микроскопа 1 перекрывают непрозрачным экраном 6. При фокусировке на контролируемую поверхность 2 экран 6 убирают, а плоскопараллельную пластину 2 смещают по направлению к объективу микроскопа I или выводят из хода лучей. 1 ил. « (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1460600 А 1 (5!) 4 С 01 В 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4258160/25-28 (22) 08.06.87 (46) 23.02. 89. Бюл. ¹ 7 (72) IO.Ï.Êîíòèåañêèé и А.В.Бакеркин (53) 531.715.27 (088.8) (56) Справочник технолога-оптика./

/Под ред.С.N.Êóçíåöîâà и M.À.Îêàòoâà, Л.:. Машиностроение, 1983. с,104. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ РАДИУСА КРИВИЗHbI СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле высокоточных оптических деталей, например пробных стекол. Цель изобретения — повышение точности контроля за счет обеспечения точной фокусировки автоколлимационного микроскопа на центр кривизны контролируемой поверхности. Последовательно фокусируют автоколлимационный микроскоп 1 на центр кривизны контролируемой поверхности 2 и на саму поверхность. Перед фокусировкой на центр кривизны контролируемой по-i верхности 2 между объективом автоколлимационного микроскопа и контролируемой поверхностью 2 устанавливают плоскопараллельную пластину 4, на обращенную к контролируемой поверхности 2 сторону которой нанесено.све» тоделительное покрытие. Автоколлима— ционный микроскоп 1 фокусирует на светоделительное покрытие плоскопараллельной пластины 2, жестко соединяют между собой автоколлимационный микроскоп 1 и светоделительную пластину 4, а половину апертуры объекти" ва автоколлимационного микроскопа 1 перекрывают непрозрачным экраном 6.

При фокусировке на контролируемую поверхность 2 экран 6 убирают, а плоскопараллельную пластину 2 смещают по направлению к объективу микроскопа 1 или выводят из хода лучей.

1 ил.

1460600

Изобретение относится к измеритель. ной технике и может быть использовано при контроле высокоточных опти— ческих деталей, например пробных

5 стекол.

Цель изобретения — повышение точности контроля эа счет обеспечения точной фокусировки автоколлимационного микроскопа на центр кривизны конт- 10 ролируемой поверхности.

На чертеже изображена схема, поясняющая способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей. 15

Предлагаемый способ осуществляется следуюгцим образом.

Между автоколлимационным микроскопом 1 и сонтролируемой поверхностью 2 оптической детали 3 устанав- 20 ливают плоскопараллельную пластину 4, на сторону 5 которой нанесено светоделительное покрытие °

Автоколлимационный микроскоп 1 перемещением вдоль его оптической оси 25 фокусируют иа светоделительное покрытие плоскопараллельной пластины,4 °

В этом положении автоколлимационный г микроскоп 1 и плоскопараллельную пластину 4 жестко соединяют между собой, 30 а половину апертуры объектива автоколлимационного микроскопа 1 перекрывают непрозрачным экраном 6.

Автоколлимационный MHKpocKOIf 1, перемещая его вместе с плоскопараллельной пластиной 4 и экраном 6, фокусируют на центр кривизны контролируемой поверхности 2. Затем автоколлимационный микроскоп 1 фокусируют на контролируемую .поверхность 2 40 (положение автоколлимационного гикроскопа показано пунктирными линиями) и измеряют расстояние между двумя положениями .автоколлимационного микроскопа 1. По измеренному 45 расстоянию между двумя положениями автоколлимационного микроскопа 1 оп-. ределяют радиус кривизны контролируемой поверхности 2. При фокусировке автоколлимационного микроскопа 1 на контролируемую поверхность 2 экран б убирают, а плоскопараллельную пластину 4 смещают по направлению к автоколлимационному микроскопу 1 или выводят иэ хода лучей. Если плоскопараллельная пластина 4 остается

55 в ходе лучей, то радиус кривизны контролируемой поверхности

2 равен расстоянию между двумя положениями автоколлимационного микроскопа 1, а если плоскопараллельная пластина 4 выделена из хода лучей, то при определении радиуса кривизны контролируемой поверхности 2 необходимо учесть оптическую толщину ппоскопараллельной пластины 2.

Точность фокусировки на центр кривизны контролируемой поверхности 2 повьппается за счет многократного отражения лучей от контролируемой поверхности 2, на которую нанесено отражающее покрытие, и от светоделительного покрытия плоскопараллельной пластины 4. В поле зрения, автоколлимационного микроскопа 1 наблюдают иэображения n pas, отраженные от контролируемой поверхности 2, и изображения (n 1) раз, отраженные от светоделительного покрытия плоскопараллельной пластины 2, где п — нечетное число. Лучи, стра" женные четное число раз от контролируемой поверхности 2,.срезают непрозрачным экраном 6.

Фокусировка автоколлимационного микроскопа 1 на центр кривизны контролируемой поверхности 2 осуществляется перемещением его вместе с плоскопараллельной пластиной 4 вдоль оптической оси. При смещении фокальной плоскости автоколлимаггионного микроскопа 1 относительно центра кривизны контролируемой поверхности 2 на величину наблюдаемые в автоколлимационный микроскоп 1 изображения смещаютс>г относительно его фокальной плоскости на величину 2 и и, следовательно, повьппаются точность фоку" сировки и точность контроля.

Формула изобретения

Способ контроля радиуса кривизны сферических поверхностей оптических деталей, заключающийся в том, что перемещают автоколлимационный микроскоп вдоль его оптической оси до последовательной фокусировки сначала на центр кривизны контролируемой поверхности, а затем на контролируемую поверхность, и измеряют величину перемещения автоколлимациойного микроскопа, по которой определяют радиус. кривизны, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности контроля, перед фокусировкой на центр кривизны контролируемой поверхности устанавливают между объективом ав1460600

Составитель Л.Лобэова

Редактор Л.Гратилло Техред Л.Олийнык Корректор И.Муска

Заказ 534/50 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Ужгород, ул. Гагарина, 101 токоллимационного микроскопа и контролируемой поверхностью плоскопараллельную пластину, на обращенную к контролируемой поверхности сторону

5 которой нанесено светоделительное покрытие, фокусируют автоколлимацион-: ный микроскоп на светоделительное покрытие плоскопараллельной пластины, жестко соединяют между собой автоколлимационный микроскоп и плоскопараллельную пластину и перекрывают половину апертуры объектива автоколлимационного микроскопа непрозрачным экраном, а при фокусировке автоколлимационного микроскопа на контролируемую поверхность экран убирают,