Дифференциальный интерферометр для изменения угловых перемещений

Дифференциальный интерферометр для изменения угловых перемещений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля угловых перемещений объектов. Целью изобретения является повьшение точности контроля за счет автоматической поднастройки дифференциального интерферометра в процессе измерения. Пучки лучей лазе

СООЭ СОВЕТСИИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РНХ1УЬЛИН ш)4 С 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

lpga

©Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗО1-.РКТИНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ П4НТ СССР (21) 4144950/24-28 (22) 10. 11. 86 (46) 28.02.89. Бюл. У 8, (71) Институт сверхтвердых материалов АН УССР (72) Н.Я.Переходько, В.П.Носов, И.Г.Стеблин и Ю.Ф.Матяш (53) 531.767(088.8) (56) Измерительная техника, 1.974, У 2, с. 13, рис. 3.

„.Я0„„1462098 А1 (54) ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля угловых перемещений объектов. Целью изобретения является повьппение точности контроля за счет автоматической поднастройки дифференциального интерферометра в процессе измерения. Пучки лучей лазе1462098 ра 1 проходят светоделитель 3 и разделяются светоделителем 2 на два пучка лучей, один из которых проходит через призменный отражатель 13, отражается от зеркала 5 и возвращается на светоделитель 2. Второй пучок лучей отражается от зеркала 4, проходит через призменный отражатель 14, отражается от зеркала 6 и возвращается на светоделитель 2. Возникающая интерференционная картина регистриру ется фотоприемниками 7 и 8, сигналы ,, с которых поступают на входы ревер сивного счетчика 10, по показаниям

:которого судят о величине угловых перемещений. При прохождении контролируемого объекта 16 через нулевое

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля угловых перемещений объектов.

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет автоматической поднастройки дифференциального интер ферометра B процессе измерения.

На чеРтеже представлена функциональная схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит основание (на чертеже не показано), жестко скрепленные с основанием лазер 1, два 15 светоделителя 2 и 3, три зеркала 4,5 и 6 два фотоприемника 7 и 8, позиционно-чувствительный фотоприемник 9, реверсивный счетчик 10, входы которого подключены к фотоприемникам 7 и 8, 20 формирователь 11 импульсов, вход ко" торого подключен к выходу позиционночувствительного фотоприемника 9; анализатор 12 первый вход которого подключен к первому выходу формировате- 25 ля 11 импульсов, а второй вход — к выходу реверсивного счетчика 10, второй выход формирователя 11 импульсов подключен к входу "Сброс" реверсивного счетчика 10; два призменных от- 30 ражателя 13 и 14 и зеркало 15, предназначенные для скрепления с контролируемым объектом 16; и зеркало 17, жестко скрепленное с основанием. положение формирователь 11 импульсов по сигналам с выхода позиционно-чувствительного фотоприемника 9 формирует два сигнала. Сигнал Запись поступающий на вход анализатора 12, обеспечивает переписывание в память анализатора 12 показаний реверсивного счетчика 10. Сигнал "Сброс", поступающий с некоторой временной задержкой по отношению к сигналу "Запись", сбрасывает реверсивный счетчик 10 в нулевое положение, Таким образом, автоматическая поднастройка дифференциального интерферометра в процессе измерений позволяет повысить точность и достоверность. контроля угловых перемещений объектов. 1 ил.

Входная грань призменного отражателя 13 оптически связана с лазером 1 и фотоприемниками 7 и 8 через свето" делители 2 и 3.

Входная грань призменного отражателя 14 оптически связана через зеркало 4 и светоделители 2 и 3 с лазером i через зеркало — с фотоприемниками 7 и 8.

Входные грани призменных отражателей 13 и 14 оптически связаны с зеркалами 5 и 6 соответственно. Зеркало 17 установлено между светоделителем 3 и зеркалом 15. Позиционночувствительный фотоприемник 9 опти,чески связан через зеркала 15 и 17 и светоделитель 3 с лазером 1 и при начальном (нулевом) положении объекта

16 пучок лучей лазера I расположен симметрично на площадке позиционночувствительного фотоприемника 9.

Дифференциальный интерферометр работает следующим образом.

Пучки лучей лазера 1 проходят светоделитель 3 и разделяются светоделителем 2 на два пучка лучей, один из которых проходит через призменный отражатель 13, отражается от зеркала

5 и возвращается на светоделитель 2.

Второй пучок лучей отражается от зеркала 4, проходит через приэменный отражатель 14, отражается. от зеркала 6 и возвращается на светоделитель 2.

Формула изобретения

Составитель А.Заболотский

Техред А.Кравчук Корректор В.Гирняк

Редактор M.Àíäðóøåíêî

Заказ 661/37 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Ю

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãoðîä, ул. Гагарина,101

1462

Возникающая интерференционная картина регистрируется фотоприемником 7 и через светоделитель 3 — фотоприемником 8. Электрические импульсы с фотоприемников 7 и 8 поступают на вход реверсивного счетчика 10, по показаниям которого судят о величине угловых перемещений ° При прохождении контролируемым объектом 16 нулевбго положения пучок лучей лазера 1, отразившись от светоделителя 3, зеркал 17 и 15, пересекает границу раздела (ось симметрии) чувствительных площадок позиционно-чувствительного фотоприемника 9. Формирователь 11 импульсов по сигналам с позиционночувствительного фотоприемника 9 фор-. мирует два сигнала "Сброс" и "Запись", при этом сигнал "Сброс" формируется с некоторой задержкой относительно сигнала "Запись" ° Сигнал "Запись" с первого выхода формирователя 11 импульсов поступает на первый вход анализатора 12, в соответствии с которым число, записанное в реверсивном счетчике 10, переписывается в память анализатора 12. Сигнал "Сброс" с второго выхода формирователя 11 импульсов поступает на вход "Сброс" реверсивного счетчика 10 и перебрасывает его в нулевое положение. Обну.ление реверсивного счетчика 10 в процессе измерения позволяет устранить .накопленную погрешность измерения угла поворота объекта вследствие ложных срабатываний реверсивного счетчика 10 и тем самым .повысить точность контроля. По.показаниям анализатора

12 можно судить о достоверности измерений. Если показания анализатора 12 превышают некоторое пороговое значение, результаты предыдущих измерений будут недостоверными.

Таким образом, автоматическая поднастройка дифференциального интерфе1

098

4 рометра в процессе измерений позволяет повысить точность и достоверность контроля угловых перемещений объектов., Дифференциальный интерферометр для измерения угловых перемещений, содер10 жащий основание и жестко скрепленные с ним лазер, два светоделителя, три зеркала, два фотоприемника, реверсивный счетчик, входы которого подключены к соответствующим фотоприемникам, 15 два призменных отражателя, предназначеннь1е для скрепления с контролируемым объектом так, чтобы входная грань одного из отражателей была оптически связана через светоделители с лаэе20 ром и двумя. фотоприемниками, .входная грань другого оптически связана через первое зеркало и светоделитель с лазером и фотоприемниками, а два других зеркала оптически связаны с вход-

25 ными гранями соответствующих призменных отражателей, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен четвертым зеркалом, предназначенным для скрепЗ0 ления с контролируемым объектом, пятым зеркалом, установленным между первым по ходу излучения светоделителем и четвертым зеркалом, позиционно-чувствительным фотоприемником, оптически связанным через четвертое

35 и пятое зеркала и первый светоделитель с лазером, формирователем импульсов, вход которого подключен к выходу ноэиционно-чувствительного фо40 топриемника, и анализатором, первый вход которого подключен к первому выходу формирователя импульсов, второй выход формирователя импульсов подключен к входу "Сброс" реверсивного счетчика, выход которого подключен к второму входу анализатора.