Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения

Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения

Реферат

Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения, включающий формирование на пироэлектрическом слое верхнего и нижнего электродов, соединение пироэлектрического слоя с подложкой, локальное травление подложки, формирование контактного слоя, травление лунок в месте контакта и щелевидных отверстий и соединение с устройством обработки сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности приемника и уменьшения неоднородности сигнала, сначала осуществляют соединение устройства обработки сигнала с подложкой, затем в подложке вытравливают лунки и формируют контактный слой, образующий нижний электрод, соединяют с подложкой пироэлектрический слой путем его напыления, последним формируют верхний электрод, а затем вытравливают в нем и пироэлектрическом слое щелевидные отверстия вокруг лунок и через них удаляют подложку.