Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Реферат

 

Изобретение может быть использовано для вращения лопаток турбин в потоке конденсата в вакуумных установках. Целью изобретения является улучшение качества покрытия за счет повышения его равномерности. Изобретение позволяет расширить технологические возможности устройства, обеспечивает дополнительную степень свободы в виде возвратно-поступательного движения длинномерного вала, несущего обрабатываемые изделия, путем использования копирного устройства, предусмотренного в редукторной паре: консоль длинномерного вала 3 втулка приводного эксцентрика. Копирное устройство выполнено в виде пальца 8 с шарником 9, радиально установленного на валу, и паза 10, образного двумя одинаковыми втулками-копирами 11, оппозитно установленными. Такое копирное устройство в паре вал втулка не изменяет предаточного отношения, а возвратно-поступательное движение обеспечивает массой системы длинномерного вала 3. 3 ил.

Изобретение касается нанесения тонких пленок вакуумным напылением и может быть использовано для вращения лопаток турбин в потоке конденсата в вакуумных установках. Цель изобретения улучшение качества покрытия за счет повышения его равномерности. На фиг.1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2 консольная часть вала с копиром; на фиг.3 развертка копиров. Устройство содержит приводной вал 1, установленный в эксцентрике-планшайбе 2. В отверстии планшайбы 2 смонтирован консольно длинномерный вал 3, несущий диски 4 и 5, жестко закрепленные на нем. На дисках 4 и 5 смонтированы обрабатываемые лопатки 6 в спутниках 7. Ось вала 1 пересекается с осью длинномерного вала 3 в точке А, от которой диски 4 и 5 закреплены на одинаковом расстоянии. Оси валов 1 и 3 пересекаются под углом . При вращении вала 1 вал 3 диаметром D₁ перекатывается по диаметру D₂ планшайбы 2, вращаясь вокруг своей оси. При этом на консоли вала 3 закреплен в радиальном направлении палец 8 с шариком 9 на конце, а в отверстии планшайбы 2 для шарика 9 предусмотрен фигурный паз 10, образованный двумя одинаковыми втулками-копирами 11, размещенными оппозитно. Устройство работает следующим образом. При вращении вала 1 начинает вращаться и вал 3 с передаточным отношением i= . При этом вал 3 совершит один оборот и один возвратно-поступательный вход в обе стороны от точки А из-за наличия копирного устройства. В крайних положениях при реверсе хода могут быть предусмотрены остановки возвратно-поступательного движения вала 3 различной продолжительности, зависящие от формы копиров (l_п путь остановки, см. фиг.3). При этом такое копирное устройство в паре вал втулка не изменяет передаточного отношения, а возвратно-поступательное движение обеспечивается массой системы длинномерного вала 3. Образование паза 10 с помощью одинаковых оппозитно размещенных втулок-копиров с профилированной поверхностью упрощает изготовление копирного устройства. Возможность вращательного и поступательного движений лопатки позволяет значительно повысить равномерность ее покрытия особенно на поверхность сложной формы.

Формула изобретения

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ по авт. св. N 1307887, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения его равномерности, оно снабжено пальцем с шариком на торце, установленным радиально на конце вала, а во втулке выполнен фигурный паз, при этом шарик установлен с возможностью контактирования со стенками фигурного паза. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что стенки фигурного паза образованы двумя одинаковыми втулками-копирами, установленными оппозитно.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 36-2000

Извещение опубликовано: 27.12.2000