Способ химико-термической обработки в тлеющем разряде
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к химикотермической обработке металлов и сплавов, а именно к обработке в тлеющем разряде. Целью изобретения является повьппение электробезопасности за счет снижения потенциала заяотгания йри сохранении износостойкости. Обработку в предложенном способе начинают в аргоне (имеющем наименьшие потенциалы зажигания) при его давле- НИИ 8-20 Па, после чего постепенно аргон удаляют из камеры осаждения и одновременно подают рабочую газовую среду, поддерживая давление в камере постоянным, после полного вывода аргона давление рабочей среды доводят до требуемого значения. Способ основан на том, что различные газы в соответствии с законом Пашена имеют различные потенциалы зажигания. 1 табл. СЛ
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 С 23 С 10!00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н А BTGPCH05AY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ЖОВММ
ГХЕ,-,тЯ:! - тi-ÕéчЕсК0
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4261853!31-02 (22) 21.04 ° 87 (46) 30.03.89. Бюп. II 12 (71) Завод-втуз при Московском автомобильном заводе им. И.А.Лихачева (72) Е.В.Васильева, IO.Н.Демин, В.Ф.Седлецкий, A.Ì.Ðÿáüïïåâ и Ю.IO.Äåìèíà (53) 621.785.5.06(088.8) (56) Арзамасов Б.н. Химико-термическая обработка материалов в активизированных газовых средах, М., 1979, с. 224.
Бабад-Захряпин А.А.и Кузнецов Г.Д.
Химико-термическая обработка в тлеюшем разряде. М., 1974, с. 103-107. (54) СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ (57) Изобретение относится к химикоИэббретение относится к химикотермической обработке металлов, а именно к обработке в тлеющем разряде постоянного тока.
Обработка в тлеющем разряде заключается в ионизации газовой среды, содержащей необходимые химические летучие соединения (хлориды, иодиды и другие соединения), в состав которых входит элемент, покрытие иэ которого требуется оформить на катоде-изделии.
Itåëü изобретения - повышение электробезопасности процесса за счет снижения потенциала зажигания при сохранении износостойкости.
„„SU„„ t 468949 термической обработке металлов и сплавов, а именно к обработке в тлеющем разряде. Целью изобретения является повьппение электробезопасности эа счет снижения потенциала зажигания йри сохранении износостойкости. Обработку в предложенном способе начинают в аргоне (имеющем наименьшие потенциалы зажигания) при его давле-е нии 8-20 Па, после чего постепенно аргон удаляют из камеры осаждения и одновременно подают рабочую газовую среду, поддерживая давление в камере постоянным, после полного вывода аргона давление рабочей среды доводят до требуемого значения. Способ основан на том, что различные газы в соответствии с законом Пашена имеют различные потенциалы зажигания.
1 табл.
Суть способа состоит в том, что предлагается осуществлять зажигание разряда в легкоионизирующемся аргоне вр при его давлении 8-20 Па, а затем при заженном разряде постепенно заменять среду аргона на необходимую, 1 © доводя давление последней до заданного (50-200 Па). При этом не возникает опасности перехода тлеющего разряда в дуговой (так как разряд уже р горит),а П (направление горения разряда), необходимое для поддержа0 ния разряда при таких давлениях, ниже, чем U (напряжение зажигания разряда).
Дпя уточнения конкретных преимуществ предлагаемого способа приво1468949
U разряда (В) при давлении газовой среды, Па
Uq разряда (В) при давлении, Па
Способ
50 100 150
12 20
200
550
700
550
600 580
600 580
750
Известный . 900
ПредлагаеMblH 200
550
250
550
170
Составитель Е.Носырева
Техред М.Дндык Корректор Л.Патай
Редактор И.Сегляник
Заказ !319/26
Тираж 938
Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r.ужгород, ул. Гагарина,101 дим следующую таблицу, в которой представлены параметры осуществления способа ХТО в тлеющем разряде по известному и предлагаемому способам на примере осаждения вольфрамовых покрытий из среды (расстояние между электродами 50 мм), в качестве рабочей среды используется хлорид вольфрама, покрытие наносится на деталь иэ10 молибдена.
Таким образом, использование предлагаемого метода позволяет снизить потенциал зажигания (Уз) в 4,5-2,8 раза, а общее максимальное рабочее напряжение трансформатора снизить в
1,3-2 раза, т.е. с 1200-700 до 600550 В. Величина микротвердости покрытий в обоих вариантах составила
400+20 кг/мм при скорости роста
100 мкм/ч и давлении рабочей среды
133 Па.
Формула изобретения
Способ химико-термической обработки в тлеющем разряде постоянного тока, включающий предварительную откачку вакуумной камеры, заполнение ее хлоридной рабочей средой с заданным давлением, ионизацию среды подачей на электроды постоянного напряжения и осаждение покрытия, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения энергобезопасности процесса за счет снижения потенциала зажигания при сохранении износостойкости, после, откачки камеру заполняют аргоном с давлением 8-20 Па, на электроды подают потенциал, необходимый для иониэации аргона при данном давлении, вццерживают до достижения требуемой температуры и заменяют аргон на рабочую среду с последующим доведением давления до заданного.