Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей

Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы. Цель изобретения - упрощение, повышение чувствительности и точности за счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе объектива путем использования пространственной модуляции светового пучка с помощью системы регистрации. Излучение источника 1 оптического излучения коллимируется объективом 2. С помощью объектива 3 излучение фокусируется на поверхности объекта, установленного на платформе 4. Отраженное излучение через светоделитель 6 и объектив 7 фокусируется на систему 8 регистрации. Результат измерения регистрируется с помощью осциллографа 10 и цифрового мультиметра 11. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (59 4 6 01 В 21/00

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (2l) 4069019/24-28 (22) 10.04.86 (46) 07.04.89. Бюл, Ð 13 (71) Завод-втуз при Московском автозаводе.им, А.И.Лихачева и Физический институт AH СССР (72) Г.Г.Земсков, N.Л.Бессонов, С.К. Каушинис, В,Н.Макухин, Н.Д,Морозова, П,А,Скролис и С.Е.Солодов (53) 531.7. (088.8) (56) Патент США У 3550839, кл. 250-222, 1970.. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ HAPANETPOB ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовле„„SU„„1471069 д 1 нии и контроле изделиИ сложной формы, 11ель изобретения — упрощение, повышение чувствительности и точности за . счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе объектива путем использования пространственной модуляции светового пучка с помощью системы регистрации. Излучение источника 1 оптического излучения коллимируется объективом 2, С помощью объектива 3 излучение фокусируется на поверхности объекта, установленного на платформе 4, Отраженное излучение через светоделитель 6 и объектив 7 фокусируется на систему 8 регистрации. Результат измерения регистрируется с помощью осциллографа 10 и цифрового мультиметра 11. 1 ил .

1 471069

Формула изобретения

Составитель В,Чулков

Техред А. Кравчук Корректор А. Обручар

Редактор В.Петраш

Заказ 1580/44 ..Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Yæãoðîä, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к измерительной технике и может бить применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы.

Цель изобретения — упрощение,увеличение чувствительности и повышение точности эа счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе модуляции светового пучка с помощью системы регистрации.

На .чертеже приведена блок-схема устройства для измерения геометрических параметров поверхностей.

Устройство содержит источник l оптического излучения, первый 2 и второй 3 объективы, платформу 4,предназначенную для установки на ней объекта измерения, оптический столик 5, светоделитель 6, третий объектив 7, систему 8 регистрации усилитель 9, осциллограф 10, цифровой мультиметр 11, источник 12 питания, генератор 13 импульсов.

Излучение источника 1 оптического излучения (промышленный лазер

ИЛПН-204) коллимируется первым объективом 2 (ЛОМО 9 х 0,20) и фокусируется объективом 3 (ЛОМО 20/1,5) на эталонные пластинки, установленные на платформе 4, размещенной на оптическом столике 5, при этом обеспечивается перемещение объекта измерения вдоль оптической оси луча.Светоделитель 6 направляет часть отраженного излучения, собранного объективом.3, на объектив 7 (ЛОМО 9 х х 0,20).

Эта часть светового потока .фокусируется в активную область системы

8 регистрации, выполненной в виде ннжекционпого лаз ера, работающего в фотодиодном режиме, @ототок этого лазера усиливается усилителем 9 и регистрируется осциллографом 10 и цифровым мультиметром 11. Питание лаз ера осуществляется источником 1 2 постоянного тока и генератором,обеспечивающим модуляцию излучения.

fQ В качестве источника 1 оптического излучения н системы 8 регистраци. могут быть использованы инжек-. ционные лазеры ИЛПН-204, первого объектива - объектив ЛОМО 9 х 0,20, 15 второго объектива — ЛОМО 20/1,5, третьего объектива — ЛОМО 9 х 0,20, усилителя 9 — У2-9, осциллографа

10 — С1-68, цифрового мультиметра

ll - ltj4300.

Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей, 25 содержащее источник излучения, установленные по ходу светового луча первый объектив, светоделитель и второй объектив, оптически связанные со светоделителем и последовательно

30 установленные третий объектив и систему регистрации, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью упрощения, увеличения чувствительности и повышения точности, система регистра35 ции выполнена в виде инжекционного лазера с апертурой,.равной апертуре источника излучения, и установлена s фокусе третьего объектива на расстоянии от светоделителя, равном рас4О:ст.оянию от источника излучения до светоделителя.