Устройство для распыления жидкости

Устройство для распыления жидкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано в полупроводниковом производстве для распыления проявляющего раствора при фотолитографической обработке полупроводниковых пластин и фотошаблонов. Цель - повышение качества распыла за счет исключения образования капель раствора на выходных отверстиях. Для этого устройство для распыления жидкости снабжено установленной в полости цилиндра заслонкой, выполненной в виде поплавка по длине полого цилиндра. Удельный вес материала поплавка меньше удельного веса распыляемой жидкости. Наличие заслонки обусловлено необходимостью перекрытия выходных отверстий в момент окончания технологического процесса, что исключает подсос жидкости из полости цилиндра и заполнение части объема цилиндра остатками жидкости. 2 ил.

А2

СОюз СОВетских

СОциАлистичесних

РЕСПУБЛИК

„„SU„„14808 (5u 4 В 05 В 1/14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ пО изОБРетениям и ОтнРытиям

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 835501 (21 ) 42625 1 3/2 3-05 (22) 15.06,87 (46) 23.05.89 Бюл, Р 19 (72) Н.И.Никулин (53) 66.069.83(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 835501, кл. В 05 В 1/14, 1979.

1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ (57) Изобретение относится к технике распыленйя жидкости и может быть ис..пользовано в полупроводниковом производстве -для распыления проявляющего раствора при фотолитографической обработке полупроводниковых

Изобретение относится к технике распыления жидкости, может быть использовано, в частности в полупроводниковом производстве для распыления проявляющего раствора при фотолитографической обработке полупроводниковых пластин и фотошаблонов, и является усовершенствованием устройства по авт. св. N> 835501.

Цель изобретения — повышение качества распыла за счет исключения образования капель раствора на выходных отверстиях, На фиг.1 изображена установка для нанесения проявляющего раствора на обрабатываемое изделие; на фиг.2— устройство для распыления.

Установка для нанесения проявляющего раствора содержит сборник 1 обработанного раствора с патрубком 2. ппастин и фотошаблонов. Цель — повышение качества распыла за счет исключения образования капель раствора на выходных отверстиях. Для этого устройство для распыления жидкости снабжено установленной в полости цилиндра заслонкой, выполненной в виде поплавка по длине полого цилиндра.

Удельный вес материала поплавка меньше удельного веса распыляемой жидкости. Наличие заслонки обусловлено необходимостью перекрытия выходных отверстий. в момент окончания техноло.гического процесса, что исключает подсос жидкости из полости цилиндра и заполнение части объема цилиндра остатками жидкости. 2 ил.

В сборнике 1 установлена вакуумная оправка 3 для закрепления на ней обрабатываемого изделия 4, например полупроводниковой подложки, соединен- в в ная с приводом вращения (не показан).

Для подачи моющего проявляющего раствора в устройство для распыления служит трубопровод 5.

Устройство для распыления жидкости содержит полый цилиндр 6 с отверстиями 7, равномерно расположенными в

его стенке. На наружной поверхности цилиндра 6 по его образующей выполнен паз 8, сообщающийся с отверстиями 7. Ширина паза 8 равна диаметру 1Д отверстий 7, а глубина — двум диаметрам отверстий 7.

Устройство также снабжено установленной в полости 9 цилиндра 6 заслойкой 10, выполненной в виде поп3 14 лавка по длине цилиндра 6, при этом удельный вес материала поплавка выбран меньшим удельного веса распыляемой жидкости. Для ограничения перемещения заслонки 10 в осевом направлении предусмотрена втулка 11.

Предпочтительно, заслонку 10 выполнить из фторопласта, так как этот материал инертен ко всем видам жидкости, не вносит загрязнения в нее.

Установка для нанесения работает следующим образом, Изделие 4 закрепляют на вакуумной оправке 3, включают привод (не показан). Иэделие 4, закрепленное на. вакуумной оправке 3, получает вращательное движение. Через трубопровод

5 под определенным давлением 0,20,5 кгс/см в полость цилиндров 6 подают жидкость (деионизованную воду или проявитель), которая приводит заслонку 10 в движение — всплывает, . открывая отверстия 7, через которые жидкость в виде струй распыляется наружу и попадает на обрабатываемое изделие 4.

После окончания технологического процесса обработки включается систе80883 а ма обратной подачи жидкости иэ полости 9 цилиндра 6 ° При этом заслонка 10 опускается и перекрывает отверстия 7, т. е. жидкость удаляется

5 как с поверхности, так и из отверстий 7. По мере удаления жидкости из устройства отверстия 7 перекрываются, чем исключается подсос воздуха в форсунку, т.е. весь объем жидкости удаляется из полости 9, исключается образование капель на выходе из отверстий и попадание их на обрабатываемую поверхность.

15 формулаизобретения

Устройство для распыления жидкости по авт.св. Ф 835501, о т л и — .

20 ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества распыяа за счет исключения образования капель раствора на выходных отверстиях, оно снабжено установленной в полости ци25 линдра заслонкой, выполненной в виде поплавка по длине цилиндра, при этом удельный вес материала поплавка выбран меньшим удельного веса распыляемой жидкости.

1480883

Составитель А.Чал-Борю

Редактор С.Патрушева Техред Л.Сердюкова Корректор Я.Романенко

Заказ 26)0/6 Тираж 564 Подписно е

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательскии комбинат Патент, r. Ужгород, ул. Гагар

11 II

Гага ина 101