Микрофокусная рентгеновская трубка
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к области рентгенотехники, а более конкретнок микрофокусным управляемым источникам рентгеновского излучения. Цель изобретения - расширение возможностей управления. Для этого, между управляющим сеточным электродом 4 и анодным узлом 10, 11, 12 расположены ускоряющий электрод 7 и две цилиндрические длиннофокусные иммерсионные линзы 8, 9. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (19) (11) 1 0 А1 (я) 4 Н 01 J 35/14
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
6 . ЕЛ
ПАТЕЛГ I
Е 1Ь)1, :1
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4341362/24-25 (22) 30.10.87 (46) 23.05 ° 89. Бюл. У 19 (72) Г.H.Ïåòðîâ, Г.А.(Цукин, В.П.Кфанов, Ф.И.Рузанов и С.А.Иванов (53) 621.386.2(088.8) (56) Патент СССР.У 664585, кл. Н 01 J 35/08, 1970.
Выложенная заявка ФРГ У 2653547, кл. Н .01 J 35/08, 1977. (54) МИКРО ОКУСНАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ
ТРУБКА (57) Изобретение относится к рентгенотехнике, а более конкретно к микрофокусным управляемым источникам рентгеновского излучения. Цель изобретения — расширение воэможностей управления. Для этого между управляющим сеточным электродом 4 и анодным узлом 10 — 12 расположены ускоряющий электрод 7 и две цилиндрические длиннофокусные иммерсионные линзы 8 и 9, I ил.
1481870
Изобретение относится к рентгенотехнике, а именно к микрофокусным управляемым источникам рентгеновского излучения.
Цель изобретения — расширение возможностей управления.
На чертеже показана микрофокусная рентгеновская трубка, разрез.
Микрофокусная рентгеновская. трубка содержит. вакуумный баллон ) ка-. тодный узел, образованный катодом 2, электродом 3 предварительной фокусировки, управляющим сеточным электродом 4 на держателе 5 и электрическими выводами б, ускоряющий электрод
7, фокусирующую систему из двух ци- . линдрических длиннофокусных иммерсионных линз 8 и 9, анодный узел, об разованный анодным телом 10 и герметично закрепленным в нем выходным бериллиевым окном ll с прострельной мишенью 12 из тугоплавкого металла, например, вольфрама, и разделительные изоляторы 13, отделяющие. друг от друга ускоряющий электрод 7, иммерсионные линзы 8,9 и анодное тело IO u обеспечивающие, вакуумную плотность соответствующей части рентгеновской трубки.
Расстояние между иммерсионными линзами 8 и 9 выбрано в диапазоне
0,1 — 1,0 диаметра отверстия в линзах 8 и 9. Нижняя граница данного диапазона определяется возможностью электрического пробоя между линзами
8 и 9. Верхняя граница диапазона установлена на основании того, что при большем единицы отношении расстояния между линзами 8 и 9 к диаметру отверстия в них быстро падает эффективность электростатической фокусирующей системы, образованной линзами
8и9.
Отношение фокусного расстояния линз 8 и 9 к диаметру их отверстия выбрано в диапазоне 10 — 100. Указанное отношение определяет энергетический разброс электронов в пучке.
Для минимизации энергетического резерва электронов в пучке с целью получения фокусного пятна размером
1-10 мкм данное отношение должно превышать 10, что установлено экспериментально. Верхняя граница диапазона выбрана из соображений, связанных с юстировкой линз при сборке рентгеновской трубки. Иммерсионные линзы 8 и 9 представляют собой плоские цилиндрические электроды, выполненные из ковара или нержавеющей стали и имеющие центральное отверстие диаметром 1 мм. Расстояние между линзами 8 и 9 составляет 0,5 — 0,7 мм. Рабочая поверхность прострельной мишени 12 расположена на расстоянии 15 мм от блиi0 жайшей к ней линзы 9.
Микрофокусная рентгеновская трубка работает следующим образом, При подаче электропитания катод 2 эмиттирует электроны, которые формируются в узконаправленный пучок электродом 3 предварительной фокусировки.
Силой тока и коммутацией пучка управляет сеточный электрод 4, Под дейст"
20 вием электрического поля ускоряющего электрода,7 электронам сообщается высокая скорость, величина которой зависит от потенциала на электроде 7.
После прохождения ускоряющего элек25 трода 7 электроны попадают в пространство дрейфа между электродом 7 и первой иммерсионной линзой 8. В зависимости от напряжений, индивидуально подаваемых на иммерсионные линзы 8 и 9, можно регулировать фокусирующие характеристики образованной этими линзами 8 и.9 фокусирующей системы. Например, можно оперативно переходить от работы с фокусным пятном размером 100-200 мкм к работе с фокусным пятном размером до 10 мкм.
Формула изобретения
Микрофокусная рентгеновская труб ка, содержащая вакуумную оболочку, последовательно установленные в ней катодный узел, фокусирующую систему и анод, рабочая поверхность которого расположена в фокусе фокусирующей системы, отличающаяся тем, что, с целью расширения возможностей управления, дополнительно введен ускоряющий электрод, установленный между катодным узлом и фокусирующей системой, которая образовака двумя последовательно расположенными цилиндрическими длиннофокусными иммерсионными линзами, расстояние между которыми выбрано в диапазоне
0,1...1,0 диаметра отверстия в линзах, а отношение фокусного расстояния линзы к диаметру ее отверстия выбрано в диапазоне )0...100.