Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения

Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 48а, )<ц

¹ 148312

СССР

Г

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ—

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 208

И. Н. Рубцов и A. И. Татаренков

СОПЛО ДЛЯ СТРУЙНОГО ЗЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

И ОСАЖДЕНИЯ

Заявлено 13 сентября 1961 г. за М 744657/22 в Комитет по лсл".м изобретений и открытий при Совете >»1:>пистров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» % 12 за 1962 г.

Известны сопла, применяемые для струйного электрохимического травления, например, в процессе изготовления германиевых триодов.

Такие сопла представляют собой стеклянные трубки, сужающиеся на конце до необходимого диаметра (100 — 400 лк). Недостатком этих сопел является то, что они легко засоряются, а прочистка их является трудоемким процессом.

Предлагаемое сопло отличается тем, ITo для устранения засорения

cão капиллярного отверстия оно выпо,".вено в виде двух вставленных одна в другую стеклянных трубок таким образом, что нагнетаемый в кольцевое пространство между этими трубками электролит перед поступлением в капилляр разделяется на рабочий и сливной потоки.

Разность скоростей двух потоков, на которые разделяется электролит, предотвращает засорение капиллярного отверстия, так как все соринки проходят в сливной канал.

На чертеже показано предлагаемое сопло.

Сопло состоит из двух вставленных одна в другую с1еклянных трубок 1 и 2 с таким расчетом, что сечение кольцевого зазора 8 между трубками должно быть не меньше сечения канала, внутренней трубки.

Капилляр 4 вклеен в центральное отверстие эпоксидной смолой. Канал капилляра строго цилиндрический, а внутренний его конец заправлен на конус.

Электролит нагнетается в штуцер 5 и по кольцевому зазору между трубками течет в сторону капилляра. В верхней части электролит меняет направление течения и разделяется на две струи, Меньшая (/з, />0) часть его устремляется в капилляр, а большая часть — через центральную трубку в сливной штуцер б. Чтобы попасть в капилляр, электролит проделывает сложный S-образный путь, причем скорость электролита перед входом в капилляр возрастает обратно пропорционально эффективному сечению ответвляющейся в капилляр струи. № 148312

Предмет изобретения

Сопло для струйного электрохимического травления и осаждения, о тл и ч а ю ще е с я тем, что, с целью предотвращения засорения капилляра, оно выполнено в виде двух вставленных одна в другую стеклянных трубок таким образом, что нагнетаемый в кольцевое пространство между этими трубками электролит перед попаданием в капилляр разделяется на рабочий и сливной потоки.

Составитель В. А. Иванов

Редактор Н. Л. Корченко Техред T. П. Курилко Корректор В. Андрианова

Подп. к печ. 2.VII-62 г. Формат бум. 70XI08 /м

Зак. 7184 Тираж 1250

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при

Москва, Центр, М. Черкасский пер., Объем 0,18 изд. л.

Цена 4 коп.

Совете Министров СССР д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14.

Путь электролита в сливной штуцер менее искривлен и скорость электролита не меняется.

Присутствующие в электролите соринки под действием сил инерции проскальзывают, мимо входного отверстия капилляра. Некоторые соринки случайно могут заноситься потоком электролита в капилляр, Н0 если соринка меньше входного отверстия, она не застревает в нем, так как капилляр имеет цилиндрическую форму канала. Большие соринки при прилипании к коническому концу капилляра не могут там долго оставаться вследствие неустойчивого их положения; они срывают. ся с капилляра и уносятся в сливной канал.

Применение сопел предлагаемой конструкции имеет наибольшую эффективность при замкнутом цикле движения электролита, то есть при непрерывной подаче его насосом из объема, в который возвращается отработанный электролит. Использование рекомендуемых сопел в устройствах, где электролит подается из замкнутого резервуара сжатым воздухом, менее эффективно, так как расход электролита в данном случае повышается в 5 — 10 раз.

Проведенные испытания предлагаемых сопел показали, что при непрерывной работе в течение более одного месяца засорения сопел не наблюдалось. Применение указанных сопел позволит автоматизировать производство полупроводниковых приборов.