Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы

Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы

Реферат

Способ определения спектральной характеристики чувствительности твердотельной фоточувствительной схемы, включающий измерение отклика схемы на облучение ее фоточувствительной области излучением с различными длинами волн, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения спектральной характеристики чувствительности схемы как в процессе изготовления, так и после него, в качестве отклика используют спектр отражения фоточувствительной области исследуемой схемы или тестовой полупроводниковой пластины, созданной в едином технологическом процессе с исследуемой схемой при формировании ее фоточувствительной области, дополнительно измеряют спектр отражения фоточувствительной области и спектральную характеристику чувствительности контрольной схемы, причем облучают контрольную и исследуемую схемы одним и тем же излучением, а спектральную характеристику чувствительности исследуемой схемы вычисляют по формуле где S - спектральная характеристика чувствительности исследуемой схемы; - коэффициент отражения фоточувствительной области исследуемой схемы; S_к - спектральная характеристика чувствительности контрольной схемы; _к - коэффициент отражения фоточувствительной области контрольной схемы.