Способ получения четыреххлористого кремния и трихлорсилана
Реферат
Способ получения четыреххлористого кремния и трихлорсилана, включающий взаимодействие порошкообразного кремния с хлористым водородом в кипящем слое, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной производительности, используют порошкообразный кремний, содержащий 11 - 40 мас.% пылевидной фракции диаметром частиц менее 0,072 мм.