Расплав для выращивания автоэпитаксиальных слоев кремния
Патент 1496557
Авторы
Классы МПК
Расплав для выращивания автоэпитаксиальных слоев кремния
Реферат
Расплав для выращивания автоэпитаксиальных слоев кремния, содержащий кремний, олово и добавку металла, отличающийся тем, что, с целью повышения удельного сопротивления слоев, в качестве добавки металла расплав содержит титан при следующем соотношении компонентов, мас.%: Кремний - 0,05 - 10 Титан - 0,008 - 4 Олово - Остальное