Устройство для распыления жидкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано при производстве гибридных интегральных микросхем при струйной гальванической металлизации. Цель изобретения - повышение равномерности распыления жидкости, снижение инерционности устройства, повышение равномерности распределения плотности тока при струйной гальванизации. Для этого устройство для распыления жидкости снабжено расположенным в полости корпуса анодом. Пластины с пазами установлены с зазором относительно друг друга. На первой по ходу движения жидкости пластине выполнены двухступенчатые выступы, одни из которых прижаты к аноду, а пазы расположены на других выступах. Пазы во второй пластине выполнены с треугольным поперечным сечением с внутренней стороны и прямоугольным поперечным сечением с наружной стороны. Пазы с наружной стороны второй пластины расположены перпендикулярно пазам с внутренней стороны. 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЩИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1502122 А 1 д11 4 В 05 В 1 14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А 5ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Формула изобретения

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4271872/23-05 (22) 23.04.87 (46) 23.08.89. Бюл. № 31 (75) А. А. Рембеза (53) 66.069.83 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1242249, кл. В 05 В I/14, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ

ЖИДКОСТИ (57) Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано при производстве гибридных интегральных микросхем при струйной гальванической металлизации. Цель изобретения— повышение равномерности распыления жидкости, снижение инерционности устройства, Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано при производстве гибридных интегральных микросхем при струйной гальванической металлизации.

Целью изобретения является повышение равномерности распыления жидкости, снижение инерционности устройства и повышение равномерности расп ределен и я плотности тока при струйной гальванизации.

На фиг. 1 изображено устройство для распыления, продольное сечение; на фиг. 2— разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез

Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 — узел 1 на фиг. 3.

Устройство для распыления жидкости содержит полый корпус 1 и установленные в нем две пластины 2 и 3 с пазами 4 — 6, расположенный в полости корпуса 1 анод 7, на первой по ходу движения жидкости пластине 2 выполнены двухступенчатые выступы 8 и 9. Выступы 8 прижаты к аноду

7, а пазы 4 расположены на выступах 9.

При этом пазы 5 в пластине 3 выполнены с треугольным поперечным сечением с внутренней стороны, а пазы 6 — с прямоуголь2 повышение равномерности распределения плотности тока при струйной гальванизации.

Для этого устройство для распыления жидкости снабжено расположенным в полости корпуса анодом. Пластины с пазами установлены с зазором относительно друг друга.

На первой по ходу движения жидкости пластине выполнены двухступенчатые выступы, одни из которых прижаты к аноду, а пазы расположены на других выступах.

Пазы во второй пластине выполнены с треугольным поперечным сечением с внутренней стороны и прямоугольным поперечным сечением с наружной стороны. Пазы с наружной стороны второй пластины расположены перпендикулярно пазам с внутренней стороны. 4 ил. ным поперечным сечением с наружной стороны. Лазы 6 с наружной стороны пластины

3 расположены перпендикулярно пазами 5 с внутренней стороны пластины 3. Штуцер

10 для подачи жидкости установлен на корпусе l.

Устройство работает следующим образом.

Жидкость подается штуцером 1О в полость между анодом и пластиной 2, где п роисходит перераспределен ие на п ра влен и я движения жидкости, после заполнения полости жидкость уже с практически равным расходом по всем пазам 4 поступает в пазы 5, затем проходит через пазы 6.

Устройство для распыления жидкости, содержащее полый корпус и установленные в нем две пластины с пазами, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности распыления жидкости, снижения инерционности устройства и повышения равномерности распределения плотности тока при струйной гальванизации, оно снаб1502122 жено расположенным в полости корпуса анодом, а пластины установлены с зазором одна относительно другой, причем на первой по ходу движения жидкости пластине выполнены двухступенчатые выступы, одни из которых прижаты к аноду, а пазы расположены на других выступах, при этом пазы во второй пластине выполнены с треугольным поперечным сечением с внутренней стороны и прямоугольным поперечным сечением с наружной стороны, а пазы с наружной стороны, а пазы с наружной стороны второй пластины расположены перпендикулярно пазам с внутренней стороны.

1502122

Состав итель A. Л иха нов

Реда кт ор А. Ч ал- 6о р ю Тех ред Ц, Верес Корректор М. Шароши

Заказ 5000/! 0 Тира ж 563 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР ! 3035, Москва, Ж 35, Раушска я наб., д. 415

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101