Способ измерения течи вакуумных установок

Способ измерения течи вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И

ИЗОБРЕТЕН

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М

Заявлено 16.Х1.1961 (¹ 752257/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19,XI.1970. Бюллетень

Дата опубликования описания бХ.197

О/01

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

Л, Л. Горелик

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕЧИ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Известные способы измерения течи вакуумных установок, промытых инертным газом, тре буют больших затрат времени.

Предлагаемый способ позволяет ускорить гроцесс измерения. Он отличается тем, что определение ведут по изменению парциального давления парамагнитного компонента, например кислорода, за определенный промежуток времени с помощью термомагнитного газоанализатора с повышенной чувствительностью при низких .давлениях.

Е1а чертеже изображена принципиальная схема газоанализатора.

Датчик газоанализатора состоит из двух цилиндрических латунных камер 1 внутренним диаметром 20 лм, в которых с помощью медных пружинок 2 натянуты платиновые нити диаметром 50 ur и длиной 14 с,М. Эти нити являются двумя плечами измерительного моста с общей вершиной. Они подогреваются при постоянном токе 100 ла. В диагональ моста включен микровольтметр 8. Обе камеры 1 сообщаются между собой посредством трубки

4. Одна пз камер помещена в соленоид 5 (число витков 300, ток через соленоид 0,2 а). Если в газе содержится кислород, включение соленоида 5 изменит сопротивление пити, в результате чего изменится балансировка моста.

Рабочее давление газоанализатора 0,5 — 3,0 льп

/;т. ст. (в этих пределах показания не зависят от давления). Чувствительность газоанализатора 0,1 — 0,2% по кислороду. Датчик газоанализатора имеет вентиль, через который его с помощью резиновой трубки присоединяют к вакуумной системе.

Течь вакуумной установки измеряют следующим путем.

Проверяемую систему (вместе с газоанали10 затором) промывают техническим азотом и откачивают до давления 0,5 л м рт. ст. Измеряя концентрацшо кислорода и общее давление, определяют соответствующее данному моменту парциальное давление кислорода в сис15 теме, изменением которого за известное время может быть определена течь.

Диффузия обеспечивает быстрое перемешиванпе газа в системе и газоанализаторе, который достаточно точно определяет истинную

20 концентрацию кислорода в проверяемом объеме. Общее давление также измеряют этим газоанализатором путем введения некоторых дополнений в его электрическую схему.

Переход от измерения концентрации кисло25 рода к измерению давления осуществляется на панели газоанализатора.

Предлагаемый способ позволяет определять течь в вакуумных установках с точностью

25 — 50 л л рт. ст. в сутки.

Предмет изобретения

Способ измерения течи вакуумных установок, промытых инертным газом, отличающийся тем, что, с целью ускорения измерения, определение ведут по изменению парциального

150681 давления парамагнитного компонента, например кислорода, за определенный промежуток времени с помощью термомагнитного газоанализатора с повышенной чувствительностью

5 при низких давлениях.

Редактор Л. А. Ильина Техред А. А, Камышникова Корректор Л. А. Царькова

Заказ 681/1 Изд.:й 295 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делаAI изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2