Травильный раствор

Травильный раствор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике травления стекла и может быть использовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла. С целью увеличения глубины травления и снижения неравномерности края рисунка травильный раствор включает, мас.% : HF 10-10,5

HNO<SB POS="POST">3</SB> 10-14

NH<SB POS="POST">4</SB>F 17,6-18

H<SB POS="POST">2</SB>O - остальное. После формирования покрытия из тантала или титана стекло травят в растворе. Глубина вытравленного рисунка составляет 7 мкм

неравномерность края 1-1,6 мкм

шероховатость 0,1-0,3 мкм.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СО).1ИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

С 03 С 15/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4284199/23-33 (22) 13 ° 07.87 (46) 30,09,89, Бюл, ¹ 36 (72) С,В.Павлов и К.С,Золотухин (53) 666,) 053,63(088,8) (56) Заявка ФРГ № 2541205, кл, С 03 С 15/00, )976, Авторское свидетельство СССР № 1159905, кл, С 03 С 15/00, )984, (54) ТРАВИЛЬНЬЙ РАСТВОР (57) Изобретение относится к технике травления стекла и может быть испольИзобретение относится к технике травления стекла может быть использовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла.

Цель изобретения — увеличение глубины травления и снижение неравномерности края рисунка, Пример 1, На подложках из

- натрий-кальциевого стекла ионно-плазменным методом напыляют пленку тантала толщиной 0,5 мкм, Методом фотолитографии формируют рисунок, через который стекло травят в течение 3 мин в растворе, содержащем, мас.%: HP (45%-ный раствор) 10,5

gP Р с 18,0

Н1)О (65%-ный раствор) )0j5

ЕО 6) О

Глубина вытравленной структуры.составила 12 мкм, т,е, скорость травлеония равна 4 мкм/мин, Неровность края

0,5 мкм, ÄÄSUÄÄ 3511228 А1

2 зовано при вытравливании рисунка на подложках из стекла. С целью увеличе ния глубины травления и снижения не" равномерности края рисунка травильный раствор включает, мас,%.: HP 1010,5; HN0з 10-14; NH F 17,6-18; Нгоостальное, После формирования покрытия из тантала или титана стекло травят в растворе, Глубина вытравленного рисунка составляет 7 мкм; неравномерность края 1-1,6 мкм; шероховатость

0,1-0,3 мкм, Пример 2, В травнльном растворе, содержащем в своем составе, мас,%:

Н1 10,0

ИН,,P 17ю5

)BIO 10,0 файй 0 62,5 скорость травления стекла составляет

Мним

3,5 мкм/мин, шероховатость равна фжВ 0,3 ьпм, неравномернос-.üк.рая рисунка не превышает 1 мкм, используемый в качестве маски фоторезист начинает М отслаиваться через 120 с, С учетом Яб приведенных данных максимальная глубина вытравленного рисунка без искажений составляет 7 мкм„

Пример 3, В травильном растворе, содержащем в своем составе, мас,%:

3ь

HP 10 5

ИЧ P 18,0

HN0 3 14,0

H,О 57,5 скорость травления стекла составляет

1511228 лено значительно более высокими адгезией мет аллических пленок к стеклу и устойчивостью пленок тантала и титана к используемому травильному раствору, Формула изобретения

Составитель O,Самохина

Техред М.Дидык

Корректор В,Кабаций

Редактор Т,Лазоренко

Заказ 5858/26 Тираж 418 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

4 мкм/мнн, шероховатость равна 0,1 мкм, неравномерность края рисунка не превышает 1,6 мкм, Используемый в качестве маски фоторезист начинает отсла5 иваться через 80 "с, т, е, максимальная глубина вытравленного рисунка составляет 5 мкм.

Таким образом, введение в состав травильного раствора азотной кислоты 10 способствует увеличению скорости травления до 3,5-4,0 мкм/мин, в первую очередь вследствие улучшения растворимости фторидов кальция и магния, Использование в качестве маски 15 пленок тантала или титана позволяет улучшить качество формируемого рисунка за счет уменьшения подтрава по краю рисунка и уменьшения количества дефектов типа "прокол", что обуслов-!

Травипьный раствор, включающий

HF, HN0, Н О, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что,. с, целью увеличения глубины травления и снижения неравномерности края рисунка, он дополнительно содержит NH<Р при следующем соотношении компонентов, мас,Е:

HF 10-10,5

Н1 3 10-14

NH Р 17ь6 18 0

HO Остальное