Стекло

Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонов. С целью сужения температурного интервала кристаллизации стекло содержит, мас.%:SIO<SB POS="POST">2</SB> 54,599-68,998

AL<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 6,5-16,5

MGO 5,0-12,0

CAO 1,0-11,3

ZNO 5,0-15,5

NA<SB POS="POST">2</SB>O 0,1-3,0

MO O<SB POS="POST">3</SB> 0,0005-0,005. Температурный интервал кристаллизации 900-1110°С, ТКЛР (20-300°С)Α(39-45<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-7</SP> град<SP POS="POST">-1</SP>, температура варки 1410-1440°С, температура выработки 1200-1260°С, химическая устойчивость (потери массы) к H<SB POS="POST">2</SB>O 0,01-0,02%, светопропускание для длин волн 365 нм 80-82% и 405 нм 85,5-88%. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„12936

А1 (51) 4 С 03 С 3/085

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Г:" -"-" °, g ° Ф б 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР . (21) 4306383/40-33 (22) 14 ° 07.87 (46) 07.10.89. Бюл. Р 37 (72) К.M. Татевосян и P ° Б. Корухчян (53) 666.112.5(088.8) (56) Стекло К-8. Стекло электровакуумное. — Неорганические электроизоляционные материалы: Справочник, 1971.

Авторское свидетельство СССР

Ф 852807, кл. С 03 С 3/087, 1979. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к хыкически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонов. С

Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным. для производства фотошаблонов.

Цель изобретения — сужение температурного интервала кристаллизации стекла.

Конкретные составы стекол приведены в табл. 1, свойства стекол — . в табл. 2.

Шихта для конкретных составов готовится, в основном, из материалов номенклатуры "ч" (СаΠ— через метасиликат кальция), пропущенных через сито (сетка У 0315).

Варка проводится в 0,5-1,0-литровых кварцевых тиглях в шахтной печи.

Стекло, кроме меньшего температур.ного интервала кристаллизации, имеет еще ряд преимуществ, а именно низкий

ТКЛР, что повьппает четкость изображения топологического слоя при экспонировании, а также меньшую температуру варки, что повышает длительность

2 целью сужения температурного интервала кристаллизации стекло содержит, мас. Е: SiO< 54,599-68,998; А1 0>

6,5-16,5; MgO 5,0-12,0; .СаО 1,0-11,3;

ZnO 5,0-15,5; Na O 0,1-3,0; МоО>

0,0005-0,005. Температурный интервал кристаллизации 900-1110 С, ТКЛР (20300 С) o((39-45) 10 град, температура варки 1410-1440 С, температура выработки 1200-1260 С, химическая устойчивость (потери массы) к Н О О,OI0,02Х светопропускание для длин волн 365 нм 80-82Х и 405 нм 85,5—

887.. 2 табл. эксплуатации печи и качество вырабатываемого стекла.

Варку стекла можно проводить в электростекловаренной печи как с графитовыми электродами, так и с электродами из другого материала (молибден, платинородий).

Формула изобретения

Стекло, включающее SiO, A1 0 з, МяО, СаО, ЕпО, Na<0, отличаю

1щ е е с я тем, что, с. целью сужения температурного интервала кристаллизации, оно дополнительно содержит

МоО при следующем соотношении компо-. нентов, мас. 7.:

SiOz 54,599-68,998

Al п.ОЗ 6,5-!6,5

MgO 5 0-12,0

СаО 1, 0-11,3

ZnO 5,0-15,5

Na 0 О, 1-3,0

МоОЗ 0,0005-0,005

1512936

Та блица f

Содержание, мас. г

Компоненты

3 4

Таблица 2

Показатели для составов стекол

Свойства

920-1080

920-1110

940-1100

900-1100

40

1240"126Î

1200-1230

1240-1260

1220-1250

0,02

0,017

0,01,0,014

82/88

81/85,5

82/87,5

80/86

Составитель Т.Трифонова.

ТехредЛ,Сердюкова Корректор М.Самборская

Редактор А. Козориз

Заказ б033/23 Тираж 418 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,301

61203

MgO

СаО

Zn0

Na O

Моо э

Температурный интервал кристаллизации, С

ТКЛР к10 град

20-300

Температуры, С варки выработки

Химическая устойчивость (потери массы и Х к Н О)

Светопропускание, X,для длин волн 365 и 405 нм

54,599

16,5

7,0

11,3

10,1

0,5

0,001

58,995

14,0

5 0

6,4

15,5

0,1

0,005

64,699515,3

12,0

1,0

5 0

2,0.

0,0005

68,998

6,5

9,0

3,0

9,5

3,0

0,002