Композиция для защитного покрытия диэлектрических материалов из кварца и стекла

Композиция для защитного покрытия диэлектрических материалов из кварца и стекла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение касается получения защитных покрытий диэлектрических материалов, выполненных из кварца и стекла, подвергаемых химической обработке (травлению в кислотах) в процессе формирования различных рельефов на их поверхности. Изобретение позволяет повысить стойкость покрытия к действию кислотных травителей (серная, плавиковая кислота или их смесь) до 15-70 ч, исключив подтрав обрабатываемой поверхности за счет введения в композиции состава, мас.% : канифоль с т.разм. 90-100°С 40-50, пчелинный воск с т.разм. 70-80°С 20-25 от 25 до 40 мас.% парафина с т.разм. 60-70°С. 3 табл.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН

1360 А1 (1Ю (11) (5D 4 С 09 D /44

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И A ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (2Л 4307800/23-05 (22) 27.07,87 (46) 07.10 89. Бюл. Н 37 (72) И.В.Астапович, С.Н.Баровская, ГPI.Сосновский, А,А.Гуринович, Т.С.Притыцкая, И.В.Некарюкин и Н.В.Масалов (53) 667.637.4 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР и 990706, кл. С 03 С 15/00, 1974.

Семибратов М.Н. Технология обработки оптических деталей. - М.: Машиностроение, 1975, с.162-164.

Авторское свидетельство СССР

Ю 264498, кл. Н 01 В 3/30, 1968.

Изобретение относится к защитным покрытиям диэлектрических материалов (в частности для защиты обратной стороны стеклянных и кварцевых пластин в процессах формирования различных рельефов на их поверхности) в процессах их химической обработки.

Цель изобретения - повышение стойкости покрытия к кислотным травителям.

На защищаемую поверхность пластины наносят маску из расплавленного состава с помощью фильерной установки

Т1Е-1200/1 (температура расплава 6070 С, толщина покрытия 0,05-20 мм) .

Покрытие, охлаждаясь, затвердевает, 2 (54)

КРЫТИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

ИЗ КВАРЦА И СТЕКЛА (57) Изобретение касается получения защитных покрытий диэлектрических материалов, выполненных из кварца и стекла, подвергаемых химической обработке (травлению в кислотах) в процессе .Формирования различных рельефов на их поверхности. Изобретение позволяет повысить стойкость покрытия к действию кислотных травителей (серная, плавиковая кислота или их смесь) до 15-70 ч, исключив подтрав обрабатываемой поверхности за счет введения в композиции состава, мас.Ж: канифоль с т.разм. 90110 С 40-50, пчелиный воск с т,разм.

70-80 С 20-25, от 25-40 мас.Ф парафина с т.разм. 60-70 С. 3 табл. после чего открытые участки поверх,ности детали подвергают травлению в плавиковой кислоте или смеси серной и плавиковой кислот.

Состав готовят следующим образом, В металлическую емкость загружают смесь из канифоли (ГОСТ 29114-84), пчелиного воска (ГОСТ 25374-82) и парафина (Ту 6-09-3637-74), расплаво ляют при 80-90 С при интенсивном перемешивании до получения однородной массы.

В табл. 1 представлены конкретные примеры предлагаемых композиций.

В табл. 2 и 3 представлены данные по свойствам покрытий °

20-25

Остальное

Табли ца 1 зиция парафин канифоль пчелиный воск 40

1

I

Та бли ца

Состав травителя

Композиция

Время устойчивости защитного покрытия, ч

Материал подложки

Подтрав, мкм

0,3

0,2

0,4

1,0

200

Кварц

То же

11

К-8, БК-!0

Пчелиный воск

0,3

2,0.

5,5

Кварц

То же

II

K-8, K- l5, БК-10

Кварц

Парафин

3,0

Отсутствует

То же

КОмпОзиЦиЯ 1 70:о НР

453 НГ

15 о HF

Смесь кислот

То же н

К-8, К-15, БК-10

Кварц

7,0

Отсутствует

То же

Композиция 2 704 HF

454 НР

154 HF

Смесь кислот

То же

II

К-8, К-15, БК-10

«11

«н»

« ° «Ф

Смесь кислОт Н SO . HF: Н О = 6,3: 2,3: 1,4.

3 151300

Эффективность композиции оценивают с использованием подложек из кварцевого стекла. и стекол марок К-Я, К"15, БК-10. Кварцевые подложки с на- 5 несенным на них покрытием подвергают травлению в 70, 45 и !5Ф-ном водных растворах фтористоводородной кислоты, а стеклянные — в смеси 983-ной серной кислоты, 453-ной фтористоводо- 1О родной кислоты и воды в соотношении

6,3:2,3:1,4, формула и з о б р е т е н и я

Композиция для защитного покрытия диэлектрических материалов из кварца и стекла, включающая канифоль с температурой размягчения 90-110 С и пчелиный воск с температурой размягче- 20 ния 70-80 С, отличающаяся тем, что, с целью повышения стойкости покрытия к действию кислотных травйтелей, она дополнительно содержит парафин с температурой размягчения

704 HF

453 ЙР

154 ЁГ

Н $0+ . ЙР: НаО =

= 6,3 : 2,3 : 1,5

703 HF

45 HF.

15о HF

Смесь кислот

4

60-70 С при следующем соотношении компонентов, мас.4:

Канифоль с температурой размягчения 90-110 С 40-50

Пчелиный воск с температурой размягчения 70-80 С

Парафин с температурой размягчения 60-70 С

Компо- Состав композиции, мас.4

1513001

Таблица 3

Состав траеителя

Время усточивости защитного покрытия, ч

Характеристика

Подтрае, мкм

Иатериал подложки

Композиция

Кто пп

703 HP

453 НР

153 HF

1 Парафин - 20

Воск - 80 (наклеечный парафин) 0,50

0,30

0,30

1ОО

После эатвердевания композиция образует мягкое покрытие с плохой адгезией к диэлектрическим материалам

Кварц

То we

Смесь кислот

»К

0,17 80

Не устойчиво

2 Канифоль - 80

Воск - 20

% (наклеечный воск) 701 НР

451 НР

154 НР

Смесь кислот

70Ж HF

451 НР

154 HF

Смесь кислот

149-160

0,30

0,25

0,25

0,08

Льняное масло

Канифоль - 10

Пчелиный воск

Железный сурик

- 21

+1%

4 Пчелиный воск - 22

Канифоль - 45

Парафин - 33

703 HF

453 НР

15Ô HF

%%

Смесь кислот

22

68

Отсутствует

Семибратов М.Н. Технология обработки оптических деталей. - М., 1978, с,162-164, Смесь кислот Н 004, HF : Н40 6,3 : 2 ° 3 : 1 4.

Лля средних значений предлагаемых трехкомпонентных композиций.

Составитель Г.Мишензникова

Техред Л, Сердокова Корректор О.Кравцова

Редактор Е.Папп

Заказ 6040/26 Тираж 631 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, )((-35, Раушская наб., д. 4!5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 11)1

К-8, БК-10, К-15

Кварц

То we н

К-8, БК-10, К-15

Кварц

То we

II

К"8> БК-10, К-15

Кварц

То we

l1

К-8, К-15, БК-10

Композиция плохо смачивает поверхность подложки, после затвердевания на деталях площадью 50 » 50 и 102 » 103 наблюдается растрескиеание покрытия

Высокая вязкость композиции не позволяет наносить ее с помощью фильерной установки

Композиция наносится с помо" щью фильерной установки, хорошо смачивает поверхность диэлектрических материалов, образуя после застывания твердое равномерное окрытие (толщину покрытия можно задавать от 0,05 до 2 мм) на поверхности 102 » 102 мм, обладает хорошей адгеэией к материалу подложки, что nosволяет полностью исключить подтрав