Способ измерения глубины залегания р-п перехода в пластинах германия

Способ измерения глубины залегания р-п перехода в пластинах германия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 151397

Класс >1@, 11вз

СССР

ОПИСАНИЕ NSQEPE

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 97

В. И. Савченко

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ ЗАЛЕГАНИЯ р — п ПЕРЕХОДА В ПЛАСТИНАХ ГЕРМАНИЯ

Заявлено 3 мая 1961 r. за ¹ 728602/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 21 за 1962 г.

Известные способы измерения глубины залегания р — n перехода в пластинах германия обладают низкой точностью и сложны по выполнению. Это объясняется тем, что измерения производятся косвенным путем. Кроме того, эти способы сопровождаются большим расходом германия.

Предложенный способ не имеет указанных недостатков. Сущность изосретения заключается в том, что исследуемый образец погружают в дистиллированную воду и в пластине германия производят электролитическое вытравливание конической лунки в области p — и перехода.

После этого обнажают переход путем изменения рехкима травления и с помощью микроскопа визуально определяют глубину залегания р — и перехода.

На фиг. 1 изображена схема устройства для осуществления предложенного способа; на фиг. 2 — коническая лунка.

Устройство состоит из ванны 1 с дистиллированной водой, миллиамперметра 2, вольтметра 8, наушников 4 и графитового держателя 5.

Пластина б или кристаллик германия после диффузии в него примесей для образования р — п перехода соединяется с графитовым держателем 5. Держатель помещается в ванне 1, в.которую заливается дистиллированная вода первой перегонки. К поверхности пластины подводится острая игла 7 из никеля или вольфрама под напряжением 5 — 8в.

При этом в наушниках 5 будет слышен щелчок, а миллиамперметр 2 покажет прирост тока. Затем игла отводится.

Напряжение повышается до 50 — 60 в и игла вручную (поворотом рукоятки) подается вниз до контакта с дном лунки, находящимся в

p — и слое германия и выдерживается 25 — 30 сек, и слой электролитически вытравливается и образуется коническая лунка, обнажающая переход. Лунка имеет переходную поверхность а, соответствующую глубине перехода. № 151397

Глубина залегания р — n перехода определяется визуально с помощью.,микроскопа. Для этого производится последовательная наводка на резкость на поверхность пластины и на поверхность а. Разность отсчета,на лимбе микроскопа при первой и второй наводках на резкость равна глубине залегания р — и перехода в пластине.

Предмет изобр етения

Способ измерения глубины залегания р — п перехода в пластинах германия, отл и ча ю щи йся тем, что, с целью повышения точности. измерения и упрощения процесса измерений, исследуемый образец погружают в дистиллированную воду, производят электролитическое вытравливание в пластине германия в области р — и перехода конической лунки, обнажают переход, изменив режим травления, и при помощи микроскопа визуально определяют глубину залегания р — и перехода.

Фиг. 1

Фиг г

Составитель А. П. Бидевкии

Редактор 3. А. Москвина Техред А. А. Камышиикова Корректор Г. С. Мосолова

Подп. к печ. 13.Х-62 г. Формат бум. 70Х108>/1 Объем 0,18 изд. л. .Зак. 10236 Тираж 1I50 Цена 4 коп.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.

Типография LIETH, Москва, Петровка, 14,