Способ получения интерференционного слоя
Патент 1514121
Авторы
Классы МПК
Способ получения интерференционного слоя
Реферат
Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к технологии изготовления оптических покрытий, и может быть использовано для создания таких покрытий, как просветляющие защитные, зеркальные, фильтрующие и другие. Изобретение позволяет повысить точность значения преломления и увеличить термическую стойкость слоя преимущественно для инфракрасной области спектра при использовании слоя в наклонных пучках лучей с углом падения . Способ заключается в нанесении на подложку пленкообразующих материалов с высоким nв и низким nн показателями преломления, причем nн < n < nв. Толщина слоев в долях , где - рабочая длина волны при падении пучка под углом q, определяются из математических соотношений. Число пар слоев m 5.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, в частности к технологии изготовления оптических покрытий, и может быть использовано для создания таких интерференционных покрытий как просветляющие, защитные, зеркальные, фильтрующие и другие. Целью изобретения является повышение точности значения показателя преломления nз и увеличение термической стойкости слоя преимущественно для инфракрасной области спектра при использовании в наклонных пучках света. Полученный по данному способу интерференционный слой может являться составной частью более сложных интерференционных покрытий, однако даже в виде четвертьволнового слоя он может быть применен в качестве эффективных инфракрасных просветляющих покрытий или в качестве широкополосных защитных покрытий для водораствоpимых щелочно-галлоидных кристаллов, что вытекает непосредственно из условия получения слоя показателем преломления nз, равным показателю преломления подложки. Указанным способом может быть изготовлено просветляющее покрытие для оптических деталей из ZnSe на длину волны 10,6 мкм для угла 0. Эффективный показатель преломления слоя задается nз 1,55. С учетом приемлемых оптических и эксплуатационных свойств выбираются пленкообразующие материалы BaF2 и PbF2. С учетом экспериментальных данных, свидетельствующих о лучшей адгезии BaF2 к ZnSe был выбран вид слоя (hнhв)m, где m принимается равным 10, в связи с удобством фотометрического контроля толщин единичных слоев на пропускание на контрольных длинах волн около 0,5 мкм. Затем определяются толщины слоев hн и hв, которые составили 0,044 для слоя с низким показателем преломления и 0,056 с высоким. Пленкообразующие материалы загружаются в резистивные испарители вакуумной установки ВУ-1А, после чего четвертьволновый слой наносится термическим испарением в вакууме с использованием штатных систем управления испарителями и фотометрического контроля толщин слоев. Значение коэффициента отражения полученного покрытия на рабочей длине волны не превышали 0,05% (с точностью измерительного прибора). По критерию возникновения микротрещин покрытие имеет порог разрушения около 400oC. Широкополосное защитное покрытие может быть изготовлено предложенным способом, например, для кристалла KCl с показателем преломления h 1,46. При этом покрытие может быть выполнено десятислойным из материалов BaF2 и PbF2 с толщинами слоев hв 0,0768, и hн 0,0232, или из материалов BaF2 и As2S3 с толщинами hн 0,091 и hв 0,0086. Предложенное покрытие имеет неравномерность отражения не более 0,25% в широком спектральном интервале.
Формула изобретения
Способ получения интерференционного слоя с заданным значением показателя преломления nз, заключающийся в нанесении на заготовку пленкообразующих материалов с высоким nв и низким nн показателями преломления, причем nн < nз < nв, отличающийся тем, что, с целью повышения точности значения показателя преломления nз и увеличения термической стойкости слоя преимущественно для инфракрасной области спектра при использовании слоя в наклонных пучках лучей с узлом падения последовательно наносят m пар чередующихся слоев пленкообразующих материалов с показателями преломления nв и nн, причем оптические толщины слоев hв с высоким показателем преломления и hн с низким показателем преломления, выраженные в долях где рабочая длина волны, равны при этом m 5.MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 8-2000
Извещение опубликовано: 20.03.2000