Патент ссср 152032

Патент ссср 152032

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 152032

Класс G Old; 21g, 13;, G 0 1 r; 21е, 290>

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа М 79

Ф.."I Борун, В. Е. Гриценко, А. П. Круглов, М. Г. Чернышев и Г. A. Чувилин

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ УДЕЛЪНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

Заявлено 3 декабря 1961 г. за Л% 754392j26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» K !7 за 1964 r.

Известны устройства для контроля удельного сопротивления образцов полупроводниковых материалов, содержащие четырехзондовую головку, автоматический потенциометр и перемещаемую пружинным приводом каретку, на которой установлен контролируемый образец.

Предлагаемое устройство, в отличие от известных, позволяет автоматизировать процесс контроля. Это достигается тем, что указатель шкалы потенциометра соединен с переключателем, управляющим электромагнитными перфораторами, служащими для нанесения отметок на перфоленте. Лента размещена на каретке с образцом так, что система отметок на ленте образует диаграмму распределения удельного сопротивления по образцу с ординатами по шкале нормативных делений и абсциссами, совпадающими с абсциссами соответствующих участков образца, на которых проводилось измерение его удельного сопротивления.

На чертеже дана схема блока для автоматической разметки учасгков образца по маркам.

Описываемое устройство содержит четырехзондовую головку. Для отсчета величины удельного сопротивления применена шкала, переходящая в шкалу прибора для контроля величины тока. Шкала имеег подвижной лимб, деления которого совпадают с делениями шкалы прибора для контроля напряжения.

Для повышения точности измерений и записи величины падения напряжения использован стабилизированный источник тока и автоматический потенциометр с электронным нуль-индикатором. № 152032

Перемещение зондов относительно образца производится ступенчато при помощи пружины и делительного механизма, а подвод и отвод зондовой головки осуществлен с помощью пружинно-электромагнитного привода.

Контролируемый образец 1 укрепляется на каретке 2. Указатель 8 линейной шкалы потенциометра. соединен с шинным переключателем 4, длины шин которого выбраны в соответствии с геометрическим рядом нормативных делений, Переключатель посредством электромагнитных реле 5 управляет перфораторами б, которые делают отметки на перфоленте 7. Перфолента расположена на каретке таким образом, что система отметок на ленте образует диаграмму распределения удельного сопротивления по образцу. Отсчет производится по многошкальному прибору с переключателем, соединенным с переключателем регулятора напряжения (на чертеже не показан), Управление перфораторами и приводом каретки осуществляется с помощью узла 8.

Автоматизация контроля удельного сопротивления образцов полупроводниковых материалов позволит увеличить выпуск и повысить качество изделий из этих материалов.

Предмет изобретения

Редактор Карпас

Корректор Г. А. Дорошина

Техред Т. П. Курилко

Поди. к печ. 3/VIII — 1964 г. Формат бум. 70><108>/ ц Объем 0,18 изд. л.

Заказ 1766/9 Тираж 1175 Цена 5 коп.

UHHHI1H Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.

Устройство для контроля удельного сопротивления образцов полупроводниковых материалов, содержащее четырехзондовую головку, автоматический потенциометр и перемещаемую пружинным приводом каретку, на которой установлен контролируемый образец, о тл и ч а ющ е е с я тем, что, с целью автоматизации процесса контроля, указатель шкалы потенциометра соединен с переключателем, управляющим электромагнитными перфораторами, служащими для нанесения отметок на перфоленте, размещенной на каретке с образцом так, что система отметок на ленте образует диаграмму распределения удельного сопротивления по образцу с ординатами по шкале нормативных делений и абсциссами, совпадающими с абсциссами соответствующих участков образца, на которых проводилось измерение его удельного сопротивления.