Ячейка металлизации

Ячейка металлизации

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к оборудованию для нанесения гальванических покрытий и может быть использовано в составе технологической линии изготовления плат тонкопленочных микросборок. Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок. В исходном положении ванна 2 опущена и заостренный конец двуплечего рычага 12 приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18. После фикасации заготовки на вакуумном столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны 2 взаимодействует с плечом двуплечего рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается на заготовку. После обработки механизмы ячейки возвращают в исходное положение. Конструктивные особенности устройства обеспечивают удобство при наладке и эксплуатации. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (191 (11) (51)4 С 25 D 17/10 19/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЦЩЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4378555/23-02 (22) 11.01.88 (46) 23. »,89. Бюл. 1 43 (72) Н.О.Козориз, В.И.Ивануна, А.С.Воскобойников и Д.И.Лившиц (53) 621.357.7:035(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Й 723808, кл. С 25 D 19/00, 1980.

Авторское свидеТельство СССР

1395694, кл. С 25 D 19/00, 1986. (54) ЯЧЕЙКА ИЕТАЛЛИЗАЦИИ (57) Изобретение относится к оборудованию для нанесения гальванических покрытий и может быть использовано в составе технологической линии изготовления плат тонкопленочных микросборок. Цель изобретения — расширение

2 технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок. В исходном положении ванна 2 опущена и заостренный конец двуплечего рычага )2 приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18. После фиксации заготовки на вакуумном столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны 2 взаимодействует с плечом двуплечего рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается на заготовку. После обработки механизмы ячейки возвращают в исходное положение. Конструктивные особенности устройства обес" печивают удобство при наладке и эксплуатации. 2 ил.

1523599

Изобретение относится к оборудованию для нанесения гальванических ho крытий и может быть использовано в составе технологической линии изготов- > ления плат тонкопленочных микросборок в условиях многономенклатурного производства.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем уве- 1О личения номенклатуры обрабатываемых заготовок.

На фиг. 1 представлена ячейка металлизации, общий вид, разрез; на фиг, 2 - вид А на фиг. 1. 15

Ячейка содержит вакуумный столик 1, на котором установлена с воэможностью возвратно-поступательного вертикального перемещения ванна 2, сопряженная в верхнем положении с контурным уплотнением 3 неподвижной крышки 4, на которой шарнирно на оси 5 установлен коллектор 6, содержащий перфорированный анод 7 с токоподводом 8, многофакельную плоскую Форсунку 9 и под- д водящий штуцер 1О. Коллектор 6 снабжен уплотнением 11. Токоподвод к вакуумному столику 1 выполнен в виде двуплечего рычага 12, установленного на оси 13, закрепленной на вилке ЗО

14, сопряженной с направляющим пазом

15 с возможностью прямолинейного перемещения и вращения вокруг оси вилки 14. На вилке 14 установлена зажимная гайка 16, Одно плечо рычага 12 изогнуто перпендикулярно плоскости вакуумного столика 1 и заострено, а второе сопряжено с упором 17 ванны 2 и заканчивается противовесом 18.

Ячейка работает следующим образом. 4О

В исходном положении ванна 2 опу-. щена, и заостренный конец рычага 12 приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18.

После Фиксации заготовки на вакуумном столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны

2 взаимодействует с плечом рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается в точку технологического поля заготовки. После обработки механизмы ячейки возвращают в исходное положение. Переналадку положения токоподвода осуществляют перемещением в направляющем пазу 15 и поворотом вилки 14 с последующей фиксацией гайкой 16. Для осуществления визуальной переналадки коллектор 6 поворачивают вокруг оси 5, открывая зону наладки.

Конструктивные особенности предла-. гаемой ячейки обеспечивают удобство при наладке и эксплуатации.

Формула изобретения е

Ячейка металлизации, содержащая вакуумный столик, установленную на нем с возможнос ью вертикального перемещения ванну, неподвижную крышку, коллектор, перфорированный анод, плоскую многофакельную Форсунку и токоподводы, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок, она снабжена упором, смонтированным на ванне, в крышке выполнен направляющий паз, один из токоподводов выполнен в виде двуплечего рычага, шарнирно установленного в направляющем пазу с воэможностью взаимодействия с упором, при этом одно плечо рачага выполнено с противовесом, конец второго плеча выполнен заостренным и установлен перпендикуляр-. но плоскости вакуумного столика, а коллектор установлен шарнирно на неподвижной крышке.

1523599

Составитель В.Трегубов

Техред А.Кравчук Корректор;А.Обручар

Редактор Н.Яцола

Заказ 7009/28 Тираж 605 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101