Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов

Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить точность измерения. Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов заключается в том, что осаждают пары на чистую поверхность, измеряют время осаждения, причем поверхность смачивают рабочей жидкостью, измеряют краевой угол смачивания, определяют толщину осаждения пленки и по толщине пленки с учетом времени осаждения судят о величине обратного потока. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„152 (5l)4 F 04 F 9/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4310611/25-29 (22) 28.09.87 (46) 23.11.89. Бюл. У 43 (72) Ф.Д.Путиловский, Ф.Х.Тазюков, В.А;Силуянов и lO,П.Степанов (53) 625.521 (088,8) (56) Инструкция ОТо.005,209, и/я А-1614, М, 1967, с.6-9, (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ОБРАТНОГО ПОТОКА ПАРОВ РАБОЧЕЙ ЖИДКОС-, ТИ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ (57) Изобретение относится к вакуумИзобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при определении обратного потока па" ров рабочей жидкости.

Цель изобретения - noaemewe xowности измерения. .На фиг. 1 приведен диффузионный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1, угол смачивания 8 капли рабочей жидкости.

Определение величины обратного потока производят на установке, состоящей из насоса, содержащего корпус 1, ловушку 2, колпак 3 и пластину 4.

Для измерения величины обратного потока пластину 4 промывают и устанавливают в колпак 3 Включают паромасляный насос 1. Через 0,5-1 ч (из расчета на среднюю величину обратного потока после ловушки 1.10 мг/ч.смз) из условия образования на поверхности пластины нескольких монослоев ра- бочей жидкости пластину извлекают.

Наносят на осажденную поверхность

2 ной технике и позволяет повысить точность измерения. Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов заключается в том, что осаждают пары на чистую поверхность, измеряют время осаждения,. причем поверхность смачивают рабочей жидкостью, измеряют краевой угол смачивания, определяют толщину осаждения пленки и по толщине пленки с учетом времени осаждения судят о величине обратного потока. 2 ил. пленки рабочей жидкости каплю рабо" чей жидкости, затем по мере ее растекания, методом интерференции определяют краевой угол смачивания, который связан с толщиной пленки осажденной рабочей жидкости. По найденной толщине пленки при известной площади поверхности и времени измерения îïðåделяется величина обратного потока.

Нахождение зависимости краевого узла от толцины пленки рабочей жидкости на пластине осуществляется следующим образом, Последовательно задается время осаждения паров рабочей жидкости на пластине (10,20,30 мин и т .д.) и из меряется толщйна пленки на зллипсометре.

Затем на пластину наносится капля

5 той же рабочей жидкости и измеряется краевой угол капли с поверхностью пластины методом интерференции в отраженном свете.. 1523743

Величина обратного потока îíðåäåляется по формуле

0,.2 19 ы

Ц ния времени осаждения и последующего смачивания поверхности жидкостью, отличающийся тем, что, 5 с целью повышения точности измерения

Ф смачивание производят рабочей жидкостью, измеряют краевой угол смачивания, по нему определяют толщину осажденной пленки, а величину обратного

10 потока q определяют по зависимостЮ

87 ° 10 1

А» °

g где d - -толщина пленки, Д; ,- время осаждения, ч.

Формула изобретения

Способ измерения величины обратного потока паров рабочей жидкости вакуумных насосов путем осаждения паров на чистую поверхность, измереО где d » толщина пленки, А; с - время осаждения, ч.

Составитель Е.Забугин

Редактор Д.Козориз Техред М.Ходанич Корректор А.06ручар

Заказ 7020/35 Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

У"

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул.Гагарина, 101