Способ измерения вакуума

Способ измерения вакуума

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений высокого и сверхвысокого вакуума за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления. Для этого в способе измерения вакуума, включающем ионизацию газа, ускорение ионного потока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, в качестве коллектора используют вторично-электронный умножитель, которым и осуществляют усиление ионного тока в измеряемой среде. Способ реализуется при помощи устройства, содержащего два катода 1, анод 2, магнит 3, экран 4 катода, диафрагму 5 иона, кольцевую щель 6 анода, генератор 7 импульсов, экран 8, кольцевые гофрированные пластины 10, источники 14-16 напряжений, усилитель 13 и регистратор 17. Ионизованные электронным ударом частицы газа вытягиваются через щель 6 и ускоряются на вход 9 вторично-электронного умножителя, где ионный поток преобразуется в электронный и усиливается. С выхода 11 электронный поток собирается коллектором 12. 1 ил.

СОЮЗ COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСН ИХ

РЕСПУБЛИК (19) (1И

А1 (5i) 4 С 01 L 21/30 (щ4!Ю111

Ч. : г,4Ч;,,>k 1 я .,;!;!. л ,,Ъ (ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

flPH fHHT СССР

1 (21) 4217480/24-10 (22) 15.01.87 (46) 30.11.89. Бюл. 1(- 44 (71) Институт электроники им.У,А.Арифона и Специализированное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института электроники им. У.А.Арифова (72) Д.С.Руми, А.А.Тулепов и P.Т.Ханбеков (53) 531.787(088.8) (56) Физический энциклопедический словарь. М,, 1984, с, 63, (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА (57) Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений высокого и cBt pxBbl— сокого вакуума за счет снижения инерционности регистрации иестационарного давления. Для этого в способе измерения вакуума, включающем ионизацнв га2 за, ускорение ионного потока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, в качестве коллектора используют вторично-электронный умножитель, которым и осуществляют усиление ионного тока в измеряемой среде. Способ реализуется при помощи устройства, содержащего два катода 1, анод 2, магнит 3, зкран 4 катода, диафрагму 5 анода, кольцевую щель 6 анода, генератор 7 импульсов, экран 8, кольцевые гофрированные пластины 10, источники l — 16 напряжений, усилитель 13 и регистратор 17. Ионизованные электронным ударом частицы газа вытягиваются через цель 6 и ускоряются на вход 9 вторично-электронного умножителя, где ионный поток преобразуется в электронныи и усиливается. С выхода

ll электронный поток собирается коллектором 12. 1 ил.

1525515 формула и з о б р е т е н и я

Составитель И.Сумцов

Техред A.Êðàâ÷óê

Корректор О,Кравцова

Редактор E.Êoï÷à

Заказ 7212/35 Подписное

ВН!ОЕИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР

113035, Мо(.ква, Ж-35, Раушская наб., л. 4/5

Тираж 789

Производстненн.з-издательский комбинат "Патент", г.Ужгорол, ул. агзрнна,101

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для измерения высокого и сверхвысокого вакуума.

Целью изобретения является повьппение точности нзиерений за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления, На чертеже изображено устройстно для реализации предлагаеиого способа.

Устройство для реализации способа содержит два накаливаемых катода 1, анод 2, магнит 3, экран 4 катода, диафрагму анода 5 с кольцевой щелью 6 анода, генератор 7 П-образного импульсного напряжения, экран 8 вторично-электронного умножителя целевого типа кольцевой геометрии, вход 9 вторично-электронного умножнтеля, кольцевые гофрированные пластины 10 вторично-электронного умножителя, выход 11 умножителя, коллектор 12 электронов, внешний усилитель 13 тока, источник 14 напряжения накала, источники низкого 15 и высокого 16 напряжений, регистратор 17, Способ измерения вакуума Осуществляют следующим образом, Электроны, эмиттируеиые с накаленного катода 1, ускоряются анодом 2 и движутся по спиральным траекториям в поле магнита 3 в пространстве между экранами 4 катода 1 через диафрагмы анода 5. Ионизованные электронным ударом частицы газа вытягиваются через кольцевую щель 6 анода и ускоряются на вход 9 вторично-электронного умножителя, где ионный поток преобразуется с помощью вторичной электронной эмиссии в электронный поток. Усиленный на выходе ll уиножителя электронный поток собирается коллектором 12, Экран 4 катода и анод 2 выполнены из мелкоструктурной сетки.

Лля повышения чувствительности может осуществляться модуляция путем подачи запираюцего потенциала на анод 2 от генератора 7.

Движение электронов в ионизационном пространстве по спиральным траекториям ндоль осн анода предотвращает облучение электронами его боковой цилиндрической стенки, что ограничивает попадание потока мягкого рентгеновского излучения на вход вторично-электронного умножителя, а также препятствует образованию заряженных и нейтральных частиц за счет электронностимулированной десорбции со стенок анода. Для медленных ионов газа коэффициент ионно-электронной эмиссии не зависит от энергии ионов и их массы, что Обеспечивает стабильность и точ20 ность измерений

Таким образом, благодаря использованию в качестве коллектора ионов вторично-электронного умножителя достигается высокое быстродействие

25 внутреннего усиления полезного сигнала в виде тока отдельных ионов, что позволяет с высокой точностью ре истрировать величину нестационарного давления в области нысокого и сверх30 высокого вакуу

Способ измерения вакуума, включаю35 щий ионизацию газа, ускорение ионного потока в электрическом поле, сбор ионов на коллектор, усиление и измерение ионного тока, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точ40 ности измерений за счет снижения инерционности регистрации нестационарного давления, в качестве коллектора используют вторично-электронный умножитель, которым и Осуцествляют

45 усиление ионного тока и измеряемой среде.