Интегральная схема свч

Интегральная схема свч

Реферат

Интегральная схема СВЧ, содержащая макрокристалл арсенида галлия с металлизированной нижней поверхностью, на верхней поверхности которого содержатся активные и пассивные элементы, элементы с субмикронными размерами, полевые транзисторы с электродами затвора и стока, соединенными с отрезками микрополосковых линий, и с электродами истока, соединенными с нижней поверхностью через сквозное отверстие, отличающаяся тем, что, с целью увеличения степени интеграции и уменьшения теплового сопротивления, элементы с субмикронными размерами выполнены по крайней мере на одном отдельном микрокристалле, при этом полевые транзисторы на микрокристалле имеют на всех электродах выступы, расположенные в одной плоскости и сгруппированные в одной области, под которой выполнены металлизированные площадки, каждая из которых соединена с выступом соответствующего электрода, при этом указанное сквозное отверстие заполнено металлом с высокой теплопроводностью и расположено под металлизированной площадкой истока.