Патент ссср 152997
Иллюстрации
Реферат
Класс С 2ЗЬ; 48Ь, 11,в
М 152997
СССР
Ф
1 !
1
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная группа М 110
Ю. М. Дашкевич,.Э. Г. Ахмедов, В. Д. Богушевич, В. П. Губанов, Б. K. Ежов, Б. Д. Поволоцкий, Л. С. Сибирев и С. И. Эпельмаи
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ КАТОДНЫМ
РАСПЫЛ ЕН И ЕМ
Заявлено 2 июня 19б1 г. за № 733074/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 19 за И64 г.
Известны способы нанесения покрытий катодным распылением в вакуумных аппаратах с предварительной очистой заготовок в поле тлеющего разряда.
Особенность предлагаемого способа состоит в том, что катод-распылитель помещают в вакуумный объем рабочей камеры, а процесс напыления осуществляют в непрерывном цикле без сообщения с атмосферой до полного расхода электрода. Это позволяет оздоровить условия труда обслуживающего персонала и повысить качество покрытий.
Для повышения производительности труда и экономии распыляемого металла предлагается обрабатывать одновременно два листа расположенных вертикально по обе стороны от электродов-распылителей.
Перед нанесением покрытия поверхность листов подвергают предварительной очистке в поле тлеющего разряда. Оптимальный режим цоля тлеющего разряда обеспечивает необходимый прогрев листов перед нанесением на них металла.
Покрытие наносят с помощью вертикально расположенных в рабочих вакуумных камерах катодов-распылителей, по обе стороны которых параллельно перемещаются два обрабатываемых листа.
Процесс очистки листов в поле тлеющего разряда с последующим напылением покрытия, осуществляемым до полного расхода электродараспылителя, идет непрерывно в вакуумной автоматической линии.
Представляющая собой один вакуумный объем, она разделена уплот№ 152997 нительными заслонками на шлюзовые, промежуточные и рабочие камеры. При обработке изделий вакуумные камеры полностью изолированы от атмосферы.
Предмет изобретения .1. Способ нанесения покрытий катодным распылением с предварительной очисткой заготовок в поле тлеющего разряда, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью оздоровления условий труда обслуживающего персонала и повышения качества покрытий, катод-распылитель помешают в вакуумный объем рабочей камеры, а процесс напыления осуществляют в непрерывном цикле без сообщения с атмосферой до полного расхода электрода. .2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения производительносги труда и экономии распыляемого металла, одновременно обрабатывают два листа, расположенные вертикально по обе стороны от электродов-распылителей.
Редактор В. П. Липатов Гехред А. А. Камышиикова Корректор И. А. Шпынева
Поди. к печ, 10/Х1 — 64 г. Формат бум. 70Х108 /жв Объем 0,18 изд. л.
Заказ 2425/7 Тираж 1200 Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова д. 4
Типография, пр. Сапунова, д. 2