Патент ссср 153085
Иллюстрации
Показать всеРеферат
№ 153085
Класс Н 01l; 2ig, 11О
6 011; 42е, 19 с
ОГ1ИОАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
И ABTGPÑÊOMÓ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
MENT po Егy/îо
7> (Т1//09
Подписная группа № 1б7
М, Л. Дененберг и Г. Н. Акимов
ДОЗИРУЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ ДОЗАТОРА ВЫСОКОВЯЗКИХ
МАТЕРИАЛОВ
Заявлено 23 марта 1962 г. за № 770713/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 4 за 1963 г.
Известны поршневые дозаторы, выполненные в виде рабочего цилиндра с перемещаемым от руки поршнем (например, медицинские шприцы}. Известны также микрометры для измерения линейных размеров.
Предлагается применить микрометр для дозирования малых количеств, в частности расплавленных металлов и сплавов, в производстве полупроводниковых приборов. Микрометр применен в сочетании со шприцем. Это позволяет упростить, сделать более точным и сократить по времени процесс отвешивания малых равных доз высоковязких материалов.
На чертеже изображен микрометр в сочетании со шприцем, примененный в качестве дозирующего элемента дозатора высоковязких материалов.
Устройство представляет собой рабочий объем — цилиндр 1, в котором перемещается притертый поршень 2. Для выдавливания малых доз высоковязких материалов из рабочего объема — цилиндра 1 служит металлическая игла 8 с осевым капиллярным каналом. Для выдавливания равных малых доз высоковязких материалов поступательное движение поршня 2 осуществляется штоком тарированного микрометрического винта 4.
Процесс дозирования заключается в следующем. Расплавленный металл, например галлий, заливается в цилиндр 1 при выдвинутом поршне 2. Вращением микрометрического винта 4 производится посту№ 153085 пательное движение поршня и начинается процесс выдавливания. Отдозированные по делениям микрометрического винта 4 капли металла выдавливаются непосредственно в лунки тигельной ленты.
При необходимости цилиндр 1 может быть выполнен обогревным.
При этом загрузка производится металлическим кристаллическим галлием, а плавка его ведется непосредственно в цилиндре 1, выполненном с обогревом или подогреваемом на нагревательных приборах.
Предмет изобретения
Применение микрометра в качестве дозирующего элемента дозатора малых количеств высоковязких материалов, например расплавленных металлов и сплавов, в производстве полупроводниковых приборов.
Составитель Ю. И. Теснек
Редактор Н. С. Кутафина Техред Т. П. Курилко Корректор Ю. М. Федулова
Подп. к печ, 28/II — 63 г. Формат бум. 70) 108 /и Объем 0,18 изд. л.
Зак. 600/15 Тираж 800 Цена 4 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, проезд Серова, дом 4.
Типография, пр, Сапунова, 2.