Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода

Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерению параметров оптических волноводов, в частности показателя преломления и толщины одномодовых планарных оптических волноводов, и позволяет повысить точность определения параметров одномодовых планарных оптических волноводов. Цель достигается путем измерения наряду с эффективным показателем преломления ТЕ-моды волновода также спектральной расстройки мод ортогональных поляризаций в резонаторе Фабри-Перо, изготовленном на основе данного волновода, и численным определением показателя преломления и толщины волновода из соответствующей системы уравнений, приведенной в формуле изобретения. 1 ил.

. СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 С 02 В 6/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИР

И А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4301140/24-10 (22) 07.09.87 (46) 30.01.90. Бюл. 1 4 (71) Институт физики AH ЭССР (72) Н,В.Адамсон (53) 621.372.826:535.89(088.8) (56) Борисов В.И., Войтенков A,È.

Определение параметров одномодовых волноводов посредством изменения показателя преломления граничной среды II(TO. 1981, т. 51, 1Р 8, с.16681670.

Torge Е. — Optik, 1974, v.41, К - 2, р. 212-215. (54) CIIOCOH ОПРЕДЕЛИ1ИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ

ПРЕЛОМЛЕНИЯ И ТОЛЩШЫ ОДНОМОДОВОГО

1П1АНАРНОГО ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА

Изобретение Aòносится к измерению параметров оптических волноводов, в частности пок»зателя преломления и толщины одномодовых плаиарных оптических волноводон.

Цель из обре тенин — поньпиение точности определения параметров одномодовых план»рных опгических волноводон.

На чертеже предст»влена схема устройства для определения спектральной расстройки TI. - и f11-ìoä в волноводном резонаторе Флбри-Перо, реализующая пре,цлаг»емый способ.

Устройство содержит источник 1 света, BQJIIioBo;IIIvIJ структуру 2, поляризатор 3 светл и .IolloxpoM»тор 4 с фотоприемнико>l.

„„SU,» 1539712 А1

2 (57) Изобретение относится к измерению параметров оптических волноводов, в частности показателя преломления и толщины одномодовых планарных оптических волноводов, и позволяет повы сить точность определения параметров одномодовых планарных оптических волноводон. Цель достигается путем измерения наряду с эффективным показателем преломления ТЕ-моды волновода также спектральной расстроики мод ортогональных поляризаций н рез.он»то-. ре Фабри-Перо, изготовленном на осноне данного волнонода, и численным определением показателя преломления и толщины. волновода из соответствующей системы уравнений, принеденной н формуле изобретения, 1 ил.

Способ осуществляется следующим образом.

Сначала измеряют в одномодовом планарном оптическом волноводе эффективный показатель преломления ТЕмолы и на фиксиров»иной длине волны те согласно прототипу. Затем из волновода изготовляют резонатор Фабри-Перо длиной несколько сот микрометров, нозбужд»ют в нем основные ТЕи ТМ-моды с помощью источника 1 на

iE >ÒÈ

:длинах волн 1, и 1 „coo TBP Tc ТВРН те 1 тн

Но и определяют p»zI;ol z b на выходе из резон»тора 2, пропуская световой пучок через поляриз»тор 3 и монохроматор

Решая численно н» ЭБМ систему уравнений, приведенную н формуле изоб1539712 ретения, определяют показатель преломления п и толщину d одномодового планарного волновода.

1 l< ((п )> п 7 (n> 1u-п 1

-у-Й (n -(n ) 1 =arctg(" )+arctg — — — - -

Я 2 (п -(пт )

1 Р (и )г тй о jtn (п (и )2 ((n е )2-ng) - ((п )2-п2 ) ( и (2Х д».((псе)а. п ) +(пав)я пг )

- (IIc - 1

/ д и - эффективный показатель

ТЕ преломления ТЕ-моды. где п„,пy — показатель преломления подложки покрЬвного слоя соответственно;

Составитель A.Øìàëüêo

Редактор Н.Киштулинец Техред Л.Олийнык, >. Корректор О.Кравцова

Подписное

Тираж 453

Заказ 217

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, у,: " -... .рина, 101

Формула изобретения

Способ определения показателя преломления и толщины одномодового планарного оптического волновода, заклю- 1п чающийся в измерении двух параметров ортогонально-поляризованных мод, одним из которых является эффективный показатель преломления TE-моды, и численном определении показателя преломления и толщины волновода из соответствующей системы уравнений, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности, из волновода изготовляют резонатор Фабри-Перо, возбуждают в нем ТЕ- и ТМ-моды на ь76 тм длине волны и 3 соответственно и измеряют спектральную расстройку для ТК- и ТМ-мод на выходе из резонатора, а показатель преломления nq и толщину d волноводного слоя определяют из системы уравнений