Микроскоп

Микроскоп

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к оптическим системам для контроля плоских и объемных дефектов поверхности. Цель изобретения - повышение удобства эксплуатации. Для этого микроскоп снабжен подвижной диафрагмой, установленной в плоскости входного зрачка объектива. Диаметр диафрагмы выбирается по зависимости, приведенной в формуле изобретения. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 С 02 В 21/2О

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

r10 ИЗОИРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ! (21) 293593/24"10 (22) 03. 08.87 (46) 15.02.90. Бюл. М 6 (72) В.H.Èâàíoâ и Н.А.Чернобай (53) 535.822.7 (088.8) (56) Скворцов Г.Е. Микроскопы. Л.:

Машиностроение, 1969, с. 3М-346. (54) МИКРОСКОП (57) Изобретение относится к оптичесИзобретение относится к оптическим системам для контроля дефектов поверхности и может быть использовано в микроэлектронике для визуального контроля кристаллов и оснований микросхем в процессе производства, а также в других областях науки и техники, где необходим контроль плоских и объемных дефектов поверхности, Целью изобретения является повышение удобства в эксплуатации путем обеспечения возможности наблюдения объекта в разных ракурсах, не меняя при этом его положения.

На чертеже изображена принципиальная оптическая схема предлагаемого микроскопа.

Микроскоп содержит источник 1 света, коллектор 2, кольцевую диафрагму

3, кольцевое зеркало 4, эпиобъектив

5, диафрагму 6, тубусную линзу 7 и бинокулярную насадку 8 с окулярами

9.

Микроскоп работает следующим образом.

Источник 1 света с помощью коллектора 2 изображается в бесконечность. Параллельный пучок лучей ограничивается кольцевой диафрагмой 3, ÄÄSUÄÄ 1543371 А t

2 ким cNGTeHBH для контроля плоских и объемных дефектов поверхнос и. Цель изобретения - повышение удобства в эксплуатации. Для этого микроскоп снабжен подвижной диафрагмой, установленной в плоскости входного зрачка объектива. Диаметр диафрагмы выбирается по зависимости, приведенной в формуле изобретения. 1 ил. отражается от кольцевого зеркала 4 и собирается параболическим зеркалом эпиобъектива 5 на поверхности контролируемого изделия, совмещенной с передней Фокальной плоскостью эпиобъектива 5. Последний собирает оассеянный поверхностью изделия свет и направляет на ограничивающую диафрагму 6, установленную в плоскости входного зрачка эпиобъектива 5. Одновременно эпиобъектив 5 строит изображение поверхности изделия в бесконечность. Часть пучка лучей, прошедшая через отверстие диафрагмы 6, попадает на тубусную линзу 7, которая переносит изображение поверхности изделия из бесконечности в переднюю фокальную плоскость окуляров 9 бинокулярной насадки 8. Когда центр отверстия диафрагмы 6 совмещен с оптической осью эпиобъектива 5, диафрагма пропускает пучок лучей, ось которого перпендикулярна поверхности контролируемого изделия. При таком положении диафрагмы угол наблюдения Ы=О т.е. микроскоп дает изображение поверхности изделия в плане. При радиальном смещении центра отверстия диаф рагмы относительно оптической оси в

1543371

Микроскоп, содержащий последоватфльно расположенные по оптической о и источник света, коллектор, кольцевую диафрагму, кольцевое зеркало, Составитель Г.Воробьева

Редактор А.Лежнина Техред л.сердюкоча Корректор Л.Патай

Заказ 399 Тираж 447 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Н-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101 направлении наблюдателя диафрагма пропускает пучок лучей, ось которого составляет некоторый угол с с контролируемой поверхностью и лежит в плоскости наблюдения. При таком положении отверстия диафрагмы микроскоп дает иэображение контролируемой поверхности под углом в направлении, аз мут которого в 0 . При повороте отверстия диафрагмы вокруг оптическс и оси на угол р=90 относительно плоскости наблюдения микроскоп дает изображение поверхности контролируем го изделия под тем же углом o(, но н,,направлении, азимут которого в=90

При полном обороте диафрагмы азимут наблюдения меняется в пределах 03 0

Формула изобретения эпиобъектив, тубусную линзу и бинокулярную насадку с окулярами, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения удобства в эксплуатации за счет обеспечения наблюдения объекта в разных ракурсах, не меняя при этом его положения, в микроскоп дополнительно введена диафрагма, установленная между объективом и тубусной линзой в плоскости входного зрачка эпиобъектива с возможностью радиального перемещения и вращения относительно оптической оси эпиобъектива, причем диаметр d диафрагмы определяется из условия

I fe6 — — -<дИ А

1 о6 о в

A M 4 где - длина волны света;

f — Фокусное расстояние эпио6 объектива микроскопа;

1диФ вЂ” разреша цая способность микроскопа;

А . - числовая апертура объектиов ва микроскопа.