Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Цпособ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса путем закрепления углеродного адсорбента на металлической подложке, отличающийся тем, что с целью повышения механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшения откачных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осуществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.

союз советсних социалистичесних

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 45007 (51)5 г 04 В 3 /04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ по изОБРетениям и ОтнРытиям

ПРИ ГКНТ СССР

И A BTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3814215/25-06 (22) 29.09.84 (46) 23.02.90. Бюл. Г 7 (71) Институт физики металлов Уральского научного центра АН. СССР и Науч- но-производственное обьединение "Иикрокриогенмаш" (72) С.М.Клоцман, И.Ш.Трахтенберг, С.А.Матвеев, С.А.Плотников, О.М.Ба кунин,. А.В.Громов, Л.Л.Штейн, Т.Н.Ждановских, А.P.Êîýìåö и В Е.Горякин (53) 621.528.3 (088.8) (56) Патент Великобритании h". 1278299, кл. Р 1 И, опублик. 1972.

Куприянов В.И. и др. Криоадсорбци" онный элемент для высоковакуумных на сосов. - В сб.: Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Общая и ядерная физика. - M., ЦНИИатоминформ, 1984, вып. 1/26, с. 17.

Изобретение относится к вакуумной; технике, а именно к технологии изго-1.

I товления рабочих элементов вакуумных криосорбционных насосов.

Целью изобретения является повышение механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшение откачных характеристик элемента.

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса заключается в закреплении уг леродного адсорбента на металлической подложке, причем предварительно ,напыляют на одну из поверхностей ад2 (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОРБЦИОННОГО ЭЛЕМЕНТА ВАКУУМНОГО КРИОСОРБ-, ЦИОННОГО НАСОСА путем закрепления углеродного адсорбвнта на металлической подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения меха нических характеристик соединения ад- сорбента с подложкой и улучшения от.качных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15 - 30 мкм, затем слой припоя толщиной 5 - 20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а 3ак репление адсорбента на подложке осу" Е ществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки. сорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и созда,ют механическую нагрузку, а закрепле;ние адсорбента на подложке осущест вляют путем их нагрева до температу ры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.

В качестве высокотеплопроводного металла используют, например. медь

Составитель B,Êðÿêîâêèí

Техред M.Äèäûê, Корректор С.Шекмар

Редактор 0. Þðêoâåöêàÿ

Заказ 481 Тираж 502 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11)0 5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина,101

3 1545007 4 или иной металл, который обеспечивает тиками и теплопроводностью. Последхорошее сцепление с припоем. Предва- нее свойство обеспечивает эффективный рительное напыление на поверхность теплоотвод от адсорбента и способстадсорбента слоя металла позволяет вует достижению минимально возможной получить хорошее соединение между его температуры, что обусловливает подложкой и адсорбентом, отличающее- высокие адсорбционные характеристики ся высокими прочностными характерис- адсорбеита..