Патент ссср 154615

Патент ссср 154615

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 154615

Класс Н 011; 21g, 11вв

ОПИСАНИЕ ИЗОБР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 97

Л. С. Милевский

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УНИПОЛЯРНОГО КРЕМНИЕВОГО

TP ИОДА

Заявлено 18 июля 1962 г. за ¹ 787702, 26-9 в 1хомптет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 10 за 1963 г.

В известном способе изготовления униполярного кремниевого триода каналы образуют определенной геометрией р-гг-переходов прибора путем создания затворов вплавлением или диффузией примеси, а также определенным расположением контактов истока и стока.

Предлагаемый способ изготовления униполярного кремниевого триода отличается от известного тем, что для упрощения технологии создания каналов гг-типа в монокристалле кремния р-типа вырезают пластины с краевыми дислокациями, их полируют в травителе, состоящем из одной части HF и двух частей Н1г Оа. после чего помещают в специальный раствор для выявления дислокацион ых ямок травления

В результате такой обработки на двух противоположных сторонах пластины в местах пересечения дисклокаций с поверхностью образца образуются ямки, глубина которых зависит от длительности травления. Затем пластина подвергается диффузионному отжигу при температуре 1200 — 1300 -С в течение 6 — 8 «ас, после чего на ее внешней поверхности образуется p-v.-переход, т. е. с обеих сторон пластины и вдоль дислокаций создаются п-области.

После диффузионного отжига края пластины сошлифовывают таким образом, чтобы созданные и-области замыкались только через каналы п-типа, число которых равно числу дислокаций, пересекающих пластину.

При использовании кремния и-типа диффузией примеси создают каналы р-типа.

На чертеже показана схема изготовленного по предлагаемому способу униполярного кремниевого триода. № 154615

Обработанная указанным выше способом пластина представляет собой основу униполярного триода. После нанесения контактов 1 на противоположные поверх ности 2 п-типа, а также после вплавления контакта 8 в сердцевину 4 р-типа триод может быть собран в стандартном корпусе.

Предмет изобретения

Способ изготовления униполярного кремниевого триода, о т л ич а ю 1ц и Й с я тем, что, с целью получения в объеме полупроводникового кристалла р-типа каналов п-типа, из монокристалла кремния р-типа вырезают пластины с дислокациями краевого типа, травлением полируют их и выявляют дислокации, путем диффузионного отжига создают и-область с обеих сторон пластины и вдоль дислокаций, после чего края пластины сошлифовывают таким образом, чтобы созданные области и-типа замыкались только через каналы п-типа.

Редактор В. Корзун Техред А. А. Камышникова Корректор В. П. Фомина

Подп. печ. 51Ч11 — 63 г. Формат бум. 70 Х 108 /ж Объем 0,18 изд. л.

Зак. 1788/7 Тираж 1225 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.