Патент ссср 154953
Иллюстрации
Реферат
/ l
Класс Н Oll; 21f, 82вв 21 133р № 154953
СССР опиоАиие изов|ййййия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ уо f4, 4 1!О 0
Под гагнал группа № 95
M. Л. Дененберг, Г. Е. Левин, Б. Д. Поволоцкий и А, A. Шакальский
ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ
ОТКАЧКИ, СУШКИ, НАПОЛНЕНИЯ ИНЕРТНЫМ ГАЗОМ
И ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Заявлено 11 ноября 1961 г. за ¹ 750898/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР
Опубликовано в «Б1оллетене изобретений и товарных знаков» ¹ 11 за 1963 г.
Известные полуавтоматические устройства для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов, выполненные в виде вращающейся карусели с установленными на ней блоком откачки, сварочным блоком и распределительным коллектором, малопроизводительны и сложны по конструкции.
Повышение производительности и упрощение конструкции в предлагаемом полуавтоматическом устройстве для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов достигнуто установкой на карусели рабочих камер с размещенными в ННх вращающимися групповыми кассетами, а также HcIIQ;Ibзованием установленного на колонне коллектора, снабженного вращающейся кольцевой обоймой.
На фиг. 1 изображено полуавтоматическое устройство для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов; на фиг. 2 — рабочая камера.
Полуавтоматическое устройство выполнено в виде врагцающейся карусели 1, на которой установлены блок 2 откачки, сварочный блок 3 и распределительный коллектор 4, служащий для подачи инертного газа на рабочие позиции карусели. На карусели 1 установлены рабочие камеры 5. В камерах 5 на валу б (прерывисто вращающемся от механизма) размещены вращающиеся кассеты 7, которые служат для крепления полупроводниковых приборов 8. Штенгели полупроводниковых приборов 8, подлежащих заварке, расположены на кольцевом сварочном элекTð0ðå 9, враща1ощемся в>1есте с кассетой. В 1
Цикл обработки полупроводниковых приборов происходит з следующей последовательности.
В первой позиции выгружают кассету с герметизированными приборами и загружают новую кассету. При повороте карусели 1, укрепленной па неподвижной станине 22, крышка 11 рабочей камеры 5, шарнирно подвешенная на рычаге 28, откидывается с помощью гидроцилиндра 24, шток которого втягивается при подъеме и вытягивается при опускании крышки.
По окончании перезарядки камеры 5 крышка 11 закрывается, и карусель 1 совершает поворот на одну позицию. При повороте форвакуумный кран 25 с помощью копира 2б открывается, соединяя рабочий объем с вакуумной линией через трубопровод и вакуумный коллектор.
По достижении необходимого вакуума включается нагревательный элемент 10 и ведется процесс вакуумной сушки в нескольких, например пяти, позициях. После окончания сушки карусель 1, поворачиваясь, перемещает камеру 5 в позицию наполнения приборов инертным газом.
Затем карусель 1, поворачиваясь, перемещает камеру в позицию пережима и заварки-герметизации, одновременно прекращая пуск инертного газа в камеру. После остановки карусели шток пресса 17, двигаясь поступательно вниз, башмаком 1б нажимает на хвостовик электрода, осуществляя тем самым пережим и сварку приборов.
Возвратная пружина осуществляет подъем электрода. Шток гидроцилиндра 27, двигаясь вверх и нажимая на приводной рычаг 28 механизма поворота, перемещает кассету 7 с приборами. Затем пресс 17 производит пережим и заварку очередного прибора. По окончании герметизации всех приборов, размещенных а кассете, crepe H»r H сварка прекращаются; карусель, поворачиваясь, перемещает камеру в первую позицию — выгрузки и загрузки.
Далее процесс повторяется. Поворот карусели 1 осуществляется с помощью мальтийского механизма с количеством рабочих пазов, соответствующим количеству позиций полуавтомата.
Предмет изобретения
Полуавтоматическое устройство для вакуумной откачки, сушки, наполнения инертным газом и герметизации полупроводниковых приборов, выполненное в виде вращающейся карусели с установленным на ней блоком откачки, сварочным блоком и распределительным коллектором,. служащим для подачи инертного газа на рабочие позиции карусели, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и упрощения конструкции полуавтомата, на карусели установлены рабо¹ 154953 чие камеры с размещенными в них вращающимися групповыми кассетами, служащими для крепления полупроводниковых приборов, штенгели которых расположены на кольцевом сварочном электроде, вращающемся вместе с кассетой, а распределительный коллектор установлен на колонке, сообщающейся с резервуаром для инертного газа и снабженной вращающейся кольцевой обоймой, соединенной с рабочими камерами. № 154953
Редактор Л. М, Шипулина Техред А. А. Камышникова Корректор Ю. М. Федулова
Подп. к печ. 3/VII — 63 r. Формат бум, 70)(108 /и Объем 0,35 изд. л.
Зак. 1775/8 Тираж 1025 Цена 4 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.
Типография, пр. Сапунова, 2.