Патент ссср 154960

Патент ссср 154960

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 154960

Класс Н 011; 21g 11,а

СССР! y (!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 97

В. А. Брук, Н. А. Дроздова, Д. А. Груев, А. С. Сущик, В. К. Аладинский и А. И. Курносов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СПЛАВНЫХ р-п ПЕРЕХОДОВ

Заявлено 18 августа 1961 r. за № 7!2413/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 11 за 1963 г.

Предмет изобретения

Способ изготовления сплавных р-п переходов на сильнолегированных материалах со ступенчатым распределением примеси в р-п переходе, основанный на термообработке слоистой полупроводниковои структуры, отличающийся тем, что, с целью устранения влияния

В известных способах изготовления сплавных р-п переходов на сильнолегированных материалах со ступенчатым распределением примеси в р-п переходе, основанных на термообработке слоистой полупроводниковой структуры, диффузия оказывает существенное влияние на структуру р-п перехода.

По предлагаемому способу влияние диффузии на структуру р-и перехода устраняется в результате помещения слоистой структуры в печь с поперечным градиентом температуры и перемещения зоны расплава со скоростью, большей скорости диффузии примесей.

По предлагаемому способу слоистую структуру помещают в печь с поперечным градиентом температуры (по отношению к плоскости пластины). При температурах, превышающих температуру расплава метал-полупроводник, расплав перемещается в направлении градиента. Вследствие малых скоростей диффузии при температурах ниже

1000 С можно создать условия, при которых скорость движения расплава будет превышать скорость диффузии примесей и, следовательно, р-п переход будет резким.

Описываемый способ изготовления сплавных р-и переходов может найти применение при изготовлении стабилитронов и варикапов.

¹ 154960

Редактор Г А. Горохова Техред T. П. Курилко

Корректор Т. В, Муллина

Поди. к печ, 28/VI — 63 r. Формат бум. 70y,108 />g Объем 0,18 изд. л.

Заказ 1608/8 Тираж 1225 Цена 4 коп

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2. диффузии на структурур-п перехода, слоистую структуру помещают в печь с поперечным градиентом температуры и, управляя градиентом температуры, перемещают зону расплава со скоростью, большей cKGрости диффузии примесей.