Патент ссср 154996

Патент ссср 154996

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Мв 154996

Класс С 22d; 40а, 12„

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подпасная группа ЛЗ 1б1

Е. И, Мамонов, В. К. Переверзев, Н. Н. Афонский, Б. Н. Белов и А. Н. Павлов

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГHHTHblX ПЛЕНОК

Заявлено 25 июля 1962 г. за ¹ 788405/22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» М 11 за !963 г, Известны способы получения магнитных пленок с одноосной анизотропией путем возгонки электронно-лучевым или контактным, или индукционным высокочастотным разогревом в кварцевых нли алундовых тиглях магнитных сплавов в вакууме и осаждением паров на подогреваемой подложке.

Однако недостаточная индентичность стехиометрическогo состава компонентов возгоняемых материалов и полученной пленки, возмо>кность загрязнения пленки материалом тигля и подогревателей и низкая

IipoH3i3Одите.1bHocTh ) станОВОк затрудняют практическое использОВание известных способов.

Предлагается для создания ориентирующего магнитного поля и его подогрева использовать согласно намотанные спиральные подогреватели подложки и немагнитный плоский проводник с током, расположенный между подложкоЙ и подогревателем.

Этот способ обеспечивает локальные оптимальные рея(имы температурно-магнитной обработки магнитных пленок и повышает производительность изготовления пленок.

Согласно предложенному способу, исходные сплавь возгоняю: электронно-лучевым, кбнтактны31 нли индукц?10?1ным разогревом и oca»(дают пары в вакууме на подогреваемую подложку.

В случае использования проводннковых .?емагнитны. подложек роль немагнитного плоского проводника Выпол ННоТ эти подло>кки., ?ля получения сильного ориентирующего магнитного поля для ii ?огих подложек В Вакуум-сфере электро?(но-л чевой ВОЗГОИI(?1 применяется к соч нo-разорванная кольцевая система электромагнитов с согласован??ыми

¹ 154996 магнитными потоками; в разрывы между электромагнитами по периметру вокруг возгоняемого материала ставятся держатели с подложками.

Предмет изобретения

1. Способ получения магнитных пленок с одноосной анизотропией посредством возгонки электронно-лучевым или контактным (тигельным), или индукционным (тигельным) разогревом и осаждения паров на подогреваемые подложки в вакууме, отлич ающи Й ся тем, что, с целью обеспечения локальных оптимальных температурно-магнитных режимов получения пленок, для создания ориентирующего магнитного поля используют согласованно l.àìîòàííûå спиральные подогреватели подложки и немагнитныЙ плоскиЙ проводник с током, расположенныЙ между подложкой и подогревателем.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что в случае применения проводниковых немагнитных подложек роль немагнитного плоского проводника выполняют эти подложки.

3. Способ по и. 1, отлич а ю щийся тем, что в случае электронно-лучевой возгонки для создания ориентирующего поля для многих подложек, укрепленных в держателях, используют симметричную относительно луча кусочно-разорванную кольцевую систему электромагнитов или катушек Гельмгольца с согласованными между собой и полем тока луча магнитными потоками, причем в разрывах между электромагнитами или катушками по периметру вокруг возгоняемого материала располагают держатели с подложками.

Сосгавитель И. М, Артамошина

Редактор В. П. Липатов Техред А. А. Камышникова Корректор Т. В, Муллина

Подп. к пен. 1/VII — 63 г. Формат бум. 70 Х 108г/16 Объем 0,18 изд. л.

Заказ 1512/10 Тираж 675 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.