Патент ссср 155288

Патент ссср 155288

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

.!!(в 155288

Класс С 22b; 403, 46;„

СССР

В < 0>

1 ", 1.

I ! (l...i T (Í TI-, .(,—,. 1. I< if < «(. „1< "1<о

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Л1 1б1

А. К. Дроздов, С. М. Егоров, А, И. Грибов, В. И. Берков, В. В. Куренков, Х. И. Макеев и М. П. Чертков

СПОСОБ ЗОННОЙ ОЧИСТКИ КРЕМНИЯ

Заявлено 9 мая 1959 г. за Л<1 702421,22-2 в Комитет по делам изобретений и открытий нри Созете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаког»> М 12 за 1963 г.

Si —, SiO = 2SiO с переходом всех примесей в кремний.

В связи с этим для изготовления кварцевых тиглей (лодочек) неООХО 1н io испо 1ьзОвять квягц такой жс 111стоты. 1 .Як 111стОтя крез!нпя (10 — 0 "",„); получение такстго кьарпа и нздслий пз него нс менее сло кно, чем получсшге чистого крем!!и». 331311» эта до настояще 0 времеkif! не решена.

UP i ОПИСЯННЬ<Х СПОСООЯХ 091

aæ I0É 0!ieP a fkI! ff Pa3Ph 11:ЯетсЯ, 1<ОРО.1ск 1!Стал. 101!Да, т кж2, как и Рii 311ло, pff3ph шяется, и п1301кОнт1рлли1зовять его свопств 1 1!СЯРзз10ж110; кроме T

Ызвестныз!и химическими способамп производства полупроводникового кремния не удается получить кремний высокой чистоты. Кремний дополнительно очищают способом бестпгельной зонной плавки нли тигельной (в лодочке) в вакууме или водороде. Бестигельную зонную плавку iia-за сложности и малой производительности прпменя!от только для получения небольших образцов.

h0;!ec перспективен способ тигельной зонной плавки, обеспечивающий высоку!о производительность установок прп сравнительно небольших затратах. Эти способы применяются с использованием прозрачного кварца (единственного из известных материалов для плавки кремния) высокОЙ !kicTQTbl т3к как расплавленны!! В вяк) )"ме III!cpT!loll атмосфсрс и водороде кремний смачивает кварц, прп этом протскаст

РЕЯКLIИЯ

¹ 155288

Во нзося(ание таких явлс::и11. 1(al(смя !иванне кварца, растрескиВанп! ти!..Isl и слитка, IlppJ,. Iac;!стся проВОдить зонную Очистку кремния В окислительной атмосфере (кислород или смесь кислорода с тшертными газами) с последующей дегазацией кремния.

Г1ри плавке кремния в окислительной атмосфере на его поверхности образуется про шая скисная пленка, предохраняющая кремний от дальнейп1его окислен IH, прп этом реакция

Si — S iO — >- 2Si0 смешается влево и рс акции мея(ду кремнием и кварцем не происходит.

1исчотя

Г1!гель предлагается изготовлять из непрозрачного кварца, предварит льно oc!pac!Oral!ac.гп плявнкОВой кислотой д, !я снятия поверхностной пленки и обеспечения доступа кислорода со стороны тигля.

Предмет изобретения

Способ зонной очистки кремния. о т л н ч а ю шийся тем, что с целью удешевления производства, исходньш металл подверга1от перекристаллизации в окислительной атмосфере с применением лодочки из низкосортного темного кварца.

Составитель В. И, Любешкин

Редактор Л. В. Калашникова Техред А. А. Камышникова Коррекгор О. Б. Тюрина

Подп, к пеи. 211 П! — 63 г. Форт!ат бум. ОХ 108, (t) Объем 0,18 изд. л.

Зак. 19218 Тираж 675 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного ком !тета HO делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, р, Сапунова, 2