Устройство для сканирования металлодиэлектрических структур

Устройство для сканирования металлодиэлектрических структур

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - уменьшение влияния температурной нестабильности окружающей среды и увеличение помехоустойчивости путем исключения нарушения балансировки устройства при воздействии дестабилизирующих факторов. Устройство содержит генератор высокой частоты 1, мост 2 переменного тока,емкостный щуп 3, первый 4 и второй 5 детекторы, линеаризатор 6, интегратор 7, усилитель 8 постоянного тока, компаратор 9, пиковый детектор 10, делитель опорного напряжения 11 и ключ 12. Введение интегратора 7, усилителя 8 постоянного тока и второго переменного сопротивления в плечо моста 2 переменного тока позволяет осуществить автоматическую самобалансировку моста при влиянии внешних температурных факторов. Введение пикового детектора 10, делителя 11 опорного напряжения и ключа 12 позволяет сформировать "гистерезисный" режим работы компаратора 9. При этом величину гистерезиса выбирают больше уровня помех входного сигнала. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (1 1) (51}5 G 01 В 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н вторСкоью свидктельстам

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4419064/24-"8 (22) 28.05 ° 88 (46) 23.04,90. Бюл. Р 15 (72) А.В.Перегуд, А.В.Язвинский и Е,В.Якубович (53) 621.317.39:531.71 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1216634, кл. G 01 В 7/б0, 1983.

Авторское свидетельства СССР ,Ф 1222880, кл. Г 02 М 65/00, 1983, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СКАНИРОВАНИЯ

ИЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СТРУКТУР (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— уменьшение влияния температурной нестабильности окружающей среды и увеличение помехоустойчивости путем исключения нарушения балансировки устройства при воздействии дестабилизирующих факторов. Устройство со2 держит генератор высокой частоты 1 мост 2 переменного тока, емкостный щуп 3, первый 4 и второй 5 детекторы, линеаризатор 6, интегратор 7, усилитель 8 постоянного тока, компаратор . 9, пиковый детектор 10, делитель опорного напряжения 11 и ключ 12.

Введение интегратора 7, усилителя

8 постоянного тока и второго переменного сопротивления в плечо моста 2 переменного тока позволяет осуществить автоматическую самобалансировку моста при влиянии внешних температурных факторов. Введение пикового детектора 10, делителя 11 опорного напряжения и ключа 12 позволяет сформировать гистерезисный режим работы компаратора 9, При этом величину гистерезиса выбирают больше уровня помех входного сигнала, 1 ил.

1559248

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь" зовано для контроля линейных размеров металлических структур, расположенных на диэлектрической основе.

Целью изобретения является уменьшение влияния температурной нестабильности окружающей среды и увеличение помехоустойчивости путем ис- 10 ключения нарушения балансировки уст" ройства при воздействии дестабилизирующих факторов.

На чертеже изображена схема устройства для сканирования металло-. 15 диэлектрических структур.

Устройство содержит генератор высокой частоты, соединенный с од" ной диагональю моста 2 переменного тока. Одно из пл ч моста переменного тока представляет собой переменное сопротивление, выполненное в виде емкостного щупа 3. В качестве пос-! леднего может применяться, например, отрезок коаксиального кабеля. Другая 25 диагональ моста 2 переменного тока соединена с первым 4 и вторым 5..детекторами, в частности пиковыми, выходы которых соединены соответственно с первым и вторым входами линеари- 30 затора б. Выход линеаризатора 6 через интегратор 7 и усилитель 8 постоянного тока соединен с вторым плечом моста переменного тока, представляющим собой также переменное сопротив35 ление, например варикап. К выходу линеариэатора б подключены первый (сигнальный}. вход компаратора 9 и вход пикового детектора 10, выход которого через делитель 11 опорного напряжения связан с вторым (опорным) входом компаратора 9. Выход компаратора 9 является выходом устройства и через ключ 12 соединен с вторым (опорным) входом компаратора 9. 45

Устройство для сканирования метал" лодиэлектрических структур работает следующим. образом.

При прохождении емкостного щупа

3 над элементами металлодиэлектрической структуры, например.над металлическими проводниками координатной матрицы, над плоскими проводниками печатной платы, находящимися в зоне чувствительного щупа, происходит раз55 баланс моста 2 переменного тока.

Высокочастотный сигнал разбаланса детектируется первым 4 и вторым 5 детекторами и поступает на входы дифференциальной схемы линеаризатора 6.

Последний предназначен для усиления сигнала и для устранения нелинейной зависимости выходного сигнала моста

2 переменного тока при измерении импеданса емкостного щупа 3. Импульс" ный сигнал колоколообразной формы с выхода линеаризатора 6 поступает на параллельно соединенные первый вход компаратора 9, вход пикового детектора 10 и вход интегратора 7. На выходе интегратора 7 выделяется постоянная составляющая импульсного сигнала, которая нормируется усилителем

8 постоянного тока. Выделенное напряжение. управляет величиной. второго переменного сопротивления в плече моста 2 переменного тока. !

Таким образом, осуществляется самобалансировка моста 2 переменного тока. Время установления баланса определяется постоянной времени интег-, ратора 7, которая выбирается заведомо большей периода следования импуль" сов с выхода линеариэатора б. На выходе пикового детектора 10 выделяет" ся постоянное; напряжение, равное амплитуде колоколообразных импульсов.

Оно поступает на делитель 11 опорного напряжения, с выхода которого необходимый уровень. напряжения, например 50 от амплитуды импульсов, подается на второй (опорный) вход компаратора 9. При превышении уровнем импульса на первом входе компаратора 9 опорного напряжения на его втором входе компаратор 9 срабатывает. Высоким уровнем сигнала с выхода компаратора 9 открывается ключ

12, снижая тем самым опорное напряжение на величину, несколько большую максимального уровня помех во входном сигнале. Таким образом обеспечивается необходимая помехозащищенность работы устройства за счет формирования гистереэисного pezawa работы компаратора 9. При непрерывном сканировании металлодиэлектрической структуры на выходе компаратора 9 формируются импульсы логического уровня, соответствующие моментам прохождения емкостного щупа над проводниками координатной матрицы или металлизированными дорожками печатной платы. Эти сформированные импульсы поступают на выход устройства и могут ,служить, например, в качестве стробирующих при записи координат проводСоставитель Е.Воронин

Редактор О.Юрковецкая Техред Л,Олийнык Корректор H,Ìóñêà

Заказ 833

Подписное

Тираж 500

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР.113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

5 155 ников. При этом длительность импуль" сов несет информацию о ширине проводника.

Таким образом, изобретение позволяет уменьшить влияние температурной нестабильности окружающей среды и увеличить помехоустойчивость сканирования.

Формула из обретения

Устройство для сканирования металлодиэлектрических структур, содержащее мост переменного тока, в одно из плеч которого включено первое переменное сопротивление, генератор высокой частоты, емкостный щуп, первый и второй детекторы, линеаризатор и компаратор, генератор высокой частоты соединен с первой диагональю моста переменного тока, емкостный щуп подключен к плечу моста переменного тока с переменным сопротивлением, входы первого и второго детекторов

9248 6 присоединены к второй диагонали моста переменного тока, а выходы - к первому и второму входам линеаризатора, выход которого соединен с первым входом компаратора, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью увеличения термостабильности и помехоустойчивости, оно снабжено интегратором, усилителем гостоянного тока, пиковым детектором, делителем опорного напряжения и ключом, в второе плечо моста переменного тока введено второе переменное сопротивление, к которому подключен выход усилителя постоянного тока, вход которого через интегратор связан с выходом линеаризатора и входом пикового детектора, выход которого соединен с входом де20 лителя опорного напряжения, выход которого соединен с вторым входом компаратора, и выходом ключа, вход которого соединен с выходом компаратора, являющегося выходом устройства.

"с