Полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к химической обработке материалов и может быть использовано для изготовления и доводки высокочастотных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов-стекла, керамики, кристаллов. Целью изобретения является получение оптически полированной поверхности. Для этого полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле содержит следующие компоненты, об.%: HF 9-16 H<SB POS="POST">2</SB>SO<SB POS="POST">4</SB> или HNO<SB POS="POST">3</SB> 14-29 H<SB POS="POST">2</SB>O 15-46 полирит 23-35. Съем материала 0,32-1,20 мкм. Шероховатость поверхности после обработки R<SB POS="POST">Z</SB>=0,023-0,091. 1 табл.
ссюэ соВетских
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
А1 (51)5 С 03 С 15/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ по изоБРетениям и опюытиям
flPH ГКНТ СССР
К A ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4351079/23-33 (22) 28.12.87 (46) 30.04.90. Бюл. М - 16 (72) Г.И,Афанасьева, Б.Д.Горелик и А.К.Зимин (53) 666,1.053.63 (088.8) (56) Купфер В ° В,.и Рябов В.А. Упрочнение стекла с применением ультразвука, — Стекло и керамика, N - 7, 1969, с. 10-13, Заявка Японии ггг 55-130839, кл. С 03 С 15/00, 1980. (54) ПОЛИРОВАЛЬНЬ1Й РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ СТЕКЛОИЗДЕЛИ11 В УЛЬТРАЗВУКОВОМ ПОЛЕ (57) эобретенне относится к химичесP
Изобретение относится к химической обработке материалов и может ,быть использовано для изготовления и доводки высокоточных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов — стекла, керамики, кристаллов.
Цель изобретения — получение оптически полированной поверхности при обработке высококремнеземистого стекла.
Пример 1, Проводят. обработку полированных оптических деталей из стекла марки К-8 и кварца. Ультразвуковой излучатель, имеющий форму прямоугольника с излучающей площадью
10х55 мм, устанавливают на расстоянии 0,7 мм от обрабатываемой поверхности вне светового диаметра, Подают в зазор травильный раствор, содержащий, об,X: плавиковая кислота
70Х-ная 11;азотная кислота 1N 14.
„.,SU„„1 5©egg
2 кой обработке материалов и может быть использовано для изготовгения и доводки высокочастотных и сложных оптических поверхностей из труднообрабатываемых материалов-стекла, керамики, кристаллов. Целью изобретения является получение оптически полированной поверхности. Для этого полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле содержит следующие компоненты,об.У.:
HF 9-16; Н БО или HNO 14-29; H О
15-46; полирит 23-35. С ем материала
0,32-1,20 мкм. Шероховатость поверхнг сти после обработки Р = 0,023
0,091, табл. (для стекла марки КЯ) нли серная кислота IN 14 (для кварца), дистиллиро ванная вода 46; полирит 29, и первоначально сообщают излучателю колеба- . ния с максимально возможной амплиту- ©" дой. В процессе обработки производят Ж замеры шероховатости поверхности. Ю
Если шероховатость участка поверхнос- 4Ь ти больше шероховатости исходной, то постепенно уменьшают амплитуду 3 колебаний излучателя до тех пор, пока шероховатость обрабатываемого участка поверхности не будет отличатвся от исходной, После этого ультразвуковой излучатель, сохраняя установленный зазор, передвигают в зону светового диаметра на участок поверхносТи, где требуется частично удалить излишки материала с сохранением качестна поверхности. Сообщают излучателю величину амплитуды колебаний с интенсивностью ввопимого г
15п0497
Остальные примеры представлены в таблице.
Формула изобретения
Полировальный раствор для обработки стеклоизделий в ультразвуковом поле, содержащий плавиковую, серную или азотную кислоты и дистиллированную воду, отличающийся тем, что, с целью получения оптически полированной поверхности,он дополнительно содержит полирит при следующем соотношении, компонентов,об.X:
Плавиковая
9-16 кислота
Серная или азотная кислота
Дистиллированная вода
Полирит
14-33
25-46
?3-35
Состав
Пример
Интенсивность
Пьем раствора
Качество поверхности
Н,нн Н,О
IN (дистип пировал н*я2 натеHF
<-702ная) 3
IN.
Тнп
82 после обраоотки олирит ультраИнтерферадионная картина риала, мкм звука, нт/см
1 11 14
28 34
14 39
29 (2> 25
1 20
Полированная
Полированная
Полированная
Полированная
Полнровенная
Полированная
Полированная
Полированная
Полированная
Полированная
0,023 ,О, 045
0,091
0i031
0,048
0,046
0,075
0,041
n,0Ç0
0,029
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченная
Упорядоченнан
Упорядо. ченная
Упорядоченная
2 10
3 14
0 25 046 зз
0,27
0,93
32 27
4 9 32
0,26 0,32
0,23 0,42
0,25 0,50
5 11
G I!
28
33 28
29 29
7 !3 16
8 14 28 зг
0,25
I ° !o
0,27 0,79
0,24 0,91
0,24 0 ° 65
9 15
25 25
35
10 16 !8 гз
Составитель О.Самохина
Техред Л Кравчук Корректор В. Гирняк.Редактор И.Сегляник
Заказ 949 Тираж 389 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГЕНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб, д. 4/5
° ч
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101. раствор ультразвука в пределах
О,23-0,27 Вт/см и производят съем материала на требуемую величину. Время обработки составляет в обоих случаях
15 мин, В результате на обрабатываемой поверхности выбирают прямоугольный паз, соответству2ощий размерам ультразвукового излучателя, на стек" .ле марки K-8 глубиной 1,35 мкм и на кварце 1,00 мкм, Пример 2, Плоскую полированную поверхность стекла марки БК-110 обрабатывают в травильном растворе, содержащем, об.X:: плавиковая кислота 70Х-ная 10; азотная кислота 1N 20; дистиллированная вода 30; полирит 27.
Ультразвуковой излучатель круглого сечения устанавливают на расстоянии
0,5 мм от обрабатываемой поверхности, обеспечивающем интенсивность ультразвукового издя7чения 0,24 Вт/см .
Получена интерферограмма поверхности, на которой обработано девять участков. Верхние три участка обраба- 25 тывались 1 мин, участки, расположенные в середине поверхности,обрабаты, вались 2 мин, и три нижних участках обрабатывались 3 мин.
Из интерферограммы видно, что участки, обработанные в течение одинакьвого времени, имеют одинаковый съем материала, причем величина съема пропорциональна времени обработки, Всем обработанным участкам присуща гладкая полированная поверхность, имеющая упорядоченные интерференционные полосы, соизмеримые по длине с размерами поверхности детали. ь