Патент ссср 156258
Иллюстрации
Реферат
Класс G Olb; 2 .g, 21»
6 01Ь; 49е, 12 № 156258
СС СР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная группа ЛЗ 97
Б. В. Круссер и А. М. Минкин
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДИАМЕТРА ОТВЕРСТИЯ И УСТРОЙСТВО
ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Заявлено 18 мая 1962 г. за ¹ 779249/26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР
Опубликовано в «Б1оллетене изобретений и товарных знаков» № 15 за 1963 г.
Известны способы получения малых отверсгий в различных материалах, основанные на использовании сфокусированного пучка ионов.
Контроль диаметра отверстия осуществляется визуально с помощьк1 микроскопа, составляющего неотъемлемую часть устройства. Известны также устройства для изготовления этих отверстий с помощью сфокусированного пучка ионов, содержащие электрическую цепь измерительным прибором.
С целью упрощения контроля диаметра отверстий и автоматизации его, предлагается способ, согласно которому о размере отверстия судят по величине проходящего через него тока. Для регистрации тока, проходящего через отверстие, с обратной стороны обрабатываемого объекта устанавливают электрод, соединенный электрической цепью с устройством для контроля диаметра отверстия.
На чертеже дано схематическое изображение устройства для осуществления предложенного способа.
Устройство содержит полый анод 1 и катод 2, на который помещают обрабатываемый объект 8.
Если обрабатываемый объект не является проводником, то в ка- естве катода может быть использована металлическая пластинка с отверстием. Фокусировку ионного пучка производят электрическим полем, создаваемым между плоским катодом, обрабатываемым объектом и полым анодом.
¹ 156258
В результате бомбардировки в объекте образуется коническое углубление с вершиной, углубляющейся до тех пор, пока не образуется сквозное отверстие.
Если бомбардировку продолжать, то диаметр отверстия в ооъекте увеличивается. О размере отверстия судят по величине тока, проходящего через него, для чего в предложенном устройстве против обратной стороны обрабатываемого объекта установлен отдельный электрод 4, геличина тока на котором измеряется миллиамперметром 5, питаемым от источника 6.
Автоматизация контроля диаметра отверсгия осуществляется с помощью прибора, который включает подаваемое через зажим 7 напряжение между катодом 2 и анодом 1, как только ток через отверстие в обрабатываемом объекте 8 достигнет заданной величины.
Предложенное устройство позволяет получать, например, в металлической фольге толщиной 0,05 лл отверстие диаметром от 5 до 200 34к в течение 5 — 15 лик в следующем режиме: разряд в воздухе при давлении 0,1 ям рт. ст., напряжении 7 кв и токе 50 — 100 яка.
Точность определения диаметра отверстия по заранее полученной кривой градуировки составляет около 10%.
П р ед м е т:.t з о б р е т е н и я
1. Способ контроля диаметра отверстия. получаемого оомбардпровкой объекга сфокусированным пучком ионов, отличающийся тем, что, с целью упрощения контроля и получения возможности автоматизации, о размере отверстия судят по величине тока, проходящего через него.
2. Устройство для контроля диаметра отверстия по п. 1, содержащее электрическую цепь с измерительным прибором, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью регистрации проходящего через отверстие тока, с обратной стороны обрабатываемого объекта установлен электрод, соединенный с упомянутой электрической цепью.
Составитель В. Козлов
Редактор П. Ф. Старцева Техред А. А. Камышникова Корректор А. А. Березуева
Подп. к печ. 127VIII — бЗ г. Формат бум. 70 к, 108 /i6 Объем 0,26 изд. л.
Заказ 2007/G Тираж 1250 Цена 4 коп.
ЦНИИГ1И Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4, Типография, пр. Сапунова, 2.