Способ определения прочности диэлектрических пленок

Способ определения прочности диэлектрических пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к определению свойств материалов. Целью изобретения является повышение точности за счет определения изменений электрических свойств диэлектрической пленки. Поставленная цель достигается тем, что помещают диэлектрическую пленку на электропроводную подложку, вдавливают в пленку индентор, измеряют силу вдавливания и изменение тангенса угла диэлектрических потерь пленки, а прочность пленки определяют по силе вдавливания в момент скачкообразного увеличения тангенса угла потерь. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУ6ЛИН (19) (11} (51)5 G 01 N 3740

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗО6РЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСНОЬ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21 ) 44 68025/25-28

I (22) 29. 07. 88 (46) 07.05. 90. Бюл. 9 .1.7 (72) В.И.Анисимов, А.В.Кислецов, В.В.Колокольчиков и A. С.Подкопаев (53) 620. 1 78 . 1 53. 2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1Ô 1270639, кл. G 01 N 3/46, 1986,, Рафаллович Дж. Приборы для научных исследований. 1966, Ф 3, с. 121, (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОЧНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к испытательной технике, а именно к определеИзобретение относится к испытательной технике, а именно к определению свойств материалов, Белью изобретения является повышение точности за счет определения изменений электрических свойств диэлек-. трической пленки.

На фиг,1 представлена схема устройства для определения прочности пленок; на фиг.2 — зависимость изменения тангенса угла диэлектрических потерь от нагрузки, Устройство состоит из твердомера

1 с индентором 2, соединенного с двигателем 3 и датчиком 4 усилий. Электродвигатель 3 управляется от источника 5 тока, а сигнал с датчика 4 поступает на регистратор 6, Основание

7 твердомера 1 является электропроводным и служит для размещения на нем диэлектрической пленки 8, Индентор 2 пленки 8 и основание 7 образуют конденсатор и связаны с измерителем

2 нию свойств материалов. — Белью изобретения является повышение точности за счет определения изменений электрических свойств диэлектрической пленки. Поставленная цель достигается тем, что помещают диэлектрическую пленку на электропроводящую подложку, вдавливают в пленку индентор, измеряют силу вдавливания и изменение тангенса угла диэлектрических потерь пленки, а прочность пленки определяют по силе вдавливания в момент скачкообразного увеличения тангенса угла потерь. 2 ил.

9 тангенса угла диэлектрических потерь пленки 8 tgE.

Устройство работает следующим образом.

Пленка 8 устанавливается на основании 7 твердомера 1 . При включении электродвигателя 3 индентор опускается до касания с пленкой 8. Нагрузка на него возрастает и измеряется с по,.мощью датчика 4 регистратором 6. Од.новременно измерителем 9 фиксируется изменение tg F.

Способ осуществляют следующим образом.

Помещают диэлектрическую пленку на электропроводную подложку, вдавливают в пленку индентор и измеряют при этом силу вдавливания индентора в пленку и тангенс угла диэлектрических потерь пленки, строят кривую зависимости Сg3 от нагрузки F, а прочность пленки оп-: ределяют по усилию вдавливания в момент скачкообразного увеличения tg3, 1562754

0Z4

ФЖ

О 2 < 8 8 Ю Q 14 РОГ 2

Составитель С.Барабанов

Редактор И.Горная Техред Л.Олийнык. Корректор 0.Билле

Заказ 1057 Тираж 499 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

Формула изобретения

Способ определения прочности диэлектрических пленок, заключающийся в том, что помещают пленку на электропроводную подложку, вдавливают ин дентор в пленку, измеряют силу вдав ливания, по которой определяют прочность, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, в процессе вдавливания индентора измеряют;тангенс угла диэлектрических по1 терь в пленке, при его скачкообразном увеличении регистрируют силу вдавливания и но ней определяют прочность.. !