Способ сборки кремниевого акселерометра
Патент 1566912
Авторы
Классы МПК
- G01P21 - Испытания и калибровка приборов и устройств, отнесенных к предыдущим группам
- H01L21 - Способы и устройства для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей (способы и устройства, специально предназначенные для изготовления и обработки приборов, относящихся к группам H01L 31/00- H01L 49/00, или их частей, см. эти группы; одноступенчатые способы изготовления, содержащиеся в других подклассах, см. соответствующие подклассы, например C23C,C30B; фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы или оригиналы для этой цели; устройства, специально предназначенные для этой цели вообще G03F)[2]
Способ сборки кремниевого акселерометра
Реферат
Способ сборки кремниевого акселерометра, заключающийся в последовательном сопряжении друг с другом элементов акселерометра и взаимной их фиксации, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности сборки и снижения себестоимости производства, последовательное сопряжение друг с другом элементов акселерометра и взаимную их фиксацию проводят в деионизированной воде, а после взаимной фиксации элементов удаляют из акселерометра остатки жидкости просушиванием при повышенной температуре.