Масс-спектрометрический течеискатель
Патент 1568687
Авторы
Классы МПК
Масс-спектрометрический течеискатель
Реферат
Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий последовательно соединенные первый демпфер колебаний потока, соединенную с ним масс-спектрометрическую камеру, последовательно соединенные диффузионный и механический насосы и второй демпфер колебаний потока, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности , второй демпфер колебаний потока выполнен в виде цеолитовой ловушки, установленной между масс-спектрометрической камерой и входом диффузионного насоса с возможностью пропускания всего потока газа через цеолит.