Связка для изготовления вакуум-плотной керамики

Связка для изготовления вакуум-плотной керамики

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к материалам для получения электронной техники, в частности керамики, используемой при изготовлении интегральных схем. С целью улучшения качества связки за счет уменьшения загустеваемости шликера, упрощение способа изготовления и улучшения структуры получаемой керамики связка для изготовления вакуум-плотной керамики методом шликерного литья включает, мас.ч.: бутадиен-нитрильный карбоксилатный каучук 10,0

ацетон 59,1-60,2

бензин 46,5-47,4

моноакриловый эфир полиэтиленгликоля 0,5-0,7. Величина загустеваемости шликера, определяемая по изменению величины вязкости шликера по истечении 24 ч, 1,00-1,03, количество пор на 1 см<SP POS="POST">2</SP> размером 60-40 мкм 3-4, 40-20 мкм 38-40, 20-5 мкм 189-200. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.SU 1571034 (51)5 С 04 В 35 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 4469151/23-33 (22) 01.08.88 (46) 15.06.90. Бюл. !! - 22 (72) А,А. Киричек, М.К. г илатова, А.M.!Оров, А.А.Цыг-нский, В.В,Симоненко, Т.В,Кийко, В.А.Гурьева, Н.Н.Зеленяк, Д,Д.Колесников, P.Â.Миклюш и А.И.Садовый (53) 666.678 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1085960, кл. С 04 В 35/00, 1984.

Технологический процесс приготовления связки и шликера ДСБ 01101.

00016, Дрогобыч. (54) СВЯЗКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАКУУМ

ПЛОТНОЙ КЕРАМИКИ (57) Изобретение относится к материалам для получения электронной техники, в частности керамики,испольИзобретение относится к материалам дпя электронной техники, в частности для корундовой керамики, используемой при изготовлении пассивной части гибридных интегральных схем (ГИС ) .

Цель изобретения — улучшение качества связки за счет уменьшения загустеваемости, упрощение способа изготовления и улучшение структуры получаемой керамики, Пример 1. Измельченный каучук промывают бензином, загружают в мельницу, затем заливают 1/2 часть бензина, ацетон, оставиийся бензин и моноалкиловый эАир полиэтиленгли2 зуемой при изготовлении интегральных схем. С целью улучшения качества связки за счет уменьшения загустеваемости шпикера, упрощения способа изготовления и улучшения структуры получаемой керамики связка для изготовления вакуум-плотной керамики методом шликерного литья включает, мас.ч.: бутадиен-нитрильный карбоксилатный каучук )0,0; ацетон 59,160,2; бензин 46,5 — 47,4, моноакриловый эАир полиэтиленгликоля 0,5

0,7. Величина загустеваемости ппикера, определяемая по изменению величины вязкости шпикера по истечении

24 ч, 1,00 — 1,03, количество пор на

1 см размером 60-40 мкм 3-4; 40

20 мкм 38-40; 20-5 мкм 189-200.

2 табл. коля на основе полимер-дистиплята общей Aop mr СПНг„„1С " "(С !1.)Ом»!. где n = 8-10, ш = !0-12, Полученный раствор перемешивают в течение 24 ч.

Полноту растворения каучука определяют по величине динамической вязкости (18-20 П) и исчезновению осад ка. После этого связку фильтруют через капроновое сито Р"- 70. К 1430 r прокаленного порошка А!. 0, с дисперсностью 8000-8800 см /г прибавляют к

1ООО г связки и 1866 г мелющих корундовых тел, Полученную суснензию перемешивают в мельнице н течение 3 ч.

Из приготовленного шликера отливают пленку толщиной 150 мкм. Ленту паке1571034

0 5-0,7

Таблица 1

Компоненты

Состав связки, мас.ч.

Предлагаемый

Прототип г

Карбоксилатиый каучук CKH-26-5 (ТУ 38-3 031 21-79 )

Ацетон марки ч, чда, (ГОСТ 2603-79)

Венэин авиационный В-70 (ТУ .38-!01913-82)

Моноалкнповый эфир полиэтиленгликоля (ТУ 6-14-586-80)

Дибутилфталат (ГОСТ

8728-778) о,о

8>4 !

0,0! о,о

59,8 60,2

59,!

50, 4

47,4

46,9

46,5

39,2

0,6

0,5

0,7

2,0 таблица 2

Состав связки

Свойства

Предлагаемый

Прототип

1 2

Динамическая вязкость opr. связки, МПа ° с

Вязкость шликера, П

Величина эагустеваемости"

Степень упйковки

Выход годных после окончательного обжига, Х

Пористость - кол-во пор на см1 размером, мкм

60-40

40-20

20-5

18,093

1,Î0

0,56

19,062 . 22

1,îç

0 50

16,932

2О

1,0!

0,53

13,533 !

1,15

0,52

80

75

4 3 з 6

39 40 ЗВ 58

190 189 200 23!

Составитель В. Соколова

Редактор Н. Киштулинец Техред М.Дидык Корректор О.Кравцова

Заказ 1485 Тираж 578 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 тируют, вальцуют, а затем из полученных пакетов вырубают заготовки подло-, жек, которые сначала обжигают при

1150 25 (; в воздушной среде, затем при 1750+25 С в вакууме.

Сост авы предлагаемой св язки по примерам конкретного выполнения приведены в табл.1.

В табл,2 приведены свойства предлагаемых и известных органических связок, а также изделий, полученных на их основе.

Формула из обретения 15

Связка для изготовления вакуумплотной керамики методом шликерного литья, включающая бутадиен-нитрильный карбоксилатный каУчук, ацетон, бензин и пластификатор, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью улучшения качества связки за счет уменьшения загустеваемости шликера, упрощения способа изготовления и улучшения структуры получаемой керамики, она содержит в качестве пластификатора монаакриловый эфир полиэтиленглико ля при следующем соотношении компонентов, мас.ч.:

Бутадиен-нитриль— ный карбоксилатный каучук l0

Ацетон 59,1-60,2

Бензин 46,5-47,4

Моноакриловый эфир полиэтиленгликол я