Способ контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводящей подложке

Способ контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводящей подложке

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

„„Su„„157217О

А1 (1) С 01 В 7/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

nq изои яткниям и отн щтиям

APN ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 - >:: --- м,,н втогсному свидвтвльствм (57) Изобретение относится к измери(46) 30.07.92.Бюл. и 28 (21) 4278613/28 (г2) 21.О4.8 (72) Л.И.Туберовский (53) 531.717.1(088.8) (56) Гершинский А.Е., Черепов Е.И.

Применение электрохимических методов для обнаружения и измерения толщины индивидуальных слоев многослойных структур. Электронная промышленность.

11 3. 1979, с. 45. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЦИИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА ЭЛЕКТРОПРОВОД)1ЩЕИ

ПОДЛОЖКЕ

Иаобретение относится к измерительной технике и может быть исполь" зовано для контроля толщины диэлектрической, например окисной, пленки на электропроводящей подложке, например металлической поверхности.

Цель изобретения - повышение точности контроля и обеспечение возмож" ности контроля без разрушения пленки.

На чертеже показана принципиальная схема измерения, поясняющая предлагаемы.: способ, На контролируемый обьект с диэлект" рической пленкой l и электропровод ной подложкой 2 устанавливают ячейку

3 с электродом 4 и в нее заливают электролит. 5, который смачивает пленку 1. В качестве электролита исполь" зуют химически нейтральный к пленке электролит, увеличивающий свое электрическое сопротивление под дейтйльной технике и может быть использовано для контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводной подложке. Цель изобретения -, повы" шение точности измерения и обеспечение возможности контроля без разрушения пленки. Контролируемую пленку

1 смачивают электролитом, химически нейтральным к ней, Через пленку и электролит пропускают ток, который быстро разлагает электролит, и ток в цепи резко падает, что предотвращает разрушение пленки. По максимальному значению силы тока и тарировочным зависимостям определяют толщину пленки. 1 ил.

I станем электрического тока. От ис- д точника 6 постоянного тока подаются напряжения на подложку 2 и на элект- >е® род 4, поэтому в процессе протек ния ф) тока через электролит сопротивление а,) электролита увеличивается за счет его разложения, что регистрируют потенциометром 7. Максимальное зна- з чение зарегистрированной силы тока сравнивают с тарировочной зависимостью, которую получают при измерении предложенным способом известных толщин диэлектрических пленок, а также при отсутствии диэлектрической пленки на электропроводной подложке.

Например, для измерения суммарной толщины пленки (1 0 + Al<0>, на поверхности холодного катода иэ элект" ропроводного сплава ЛИГ-6 пленку смачивают электролитом, являющимся двух>5>ai7o

Составитель И эKBcoRH

Редактор И.Васильева Техред И,Ходаиич Корректор 3. Гончакона

Заказ 2828 Тир"аж 416 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям прн ГКНТ СССР

)13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/3.Производственно"издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. апарина,(Ot процентным раствором NgC3@ в зтиловдм спирте. Указанный электролит увеличивает. свое сопротивление в два рейза в течение двух-трех секунд, не разрушая пленок толщиной в сотые доли микрона, что позволяет измерять толщину тоикик окисиых плевок с точностью до нескольких пропеи.тов . 10

Таким образом, определение. толщи" ны диэлектрической пленки по макси" мальному значению силы тока, протекающего в цепи, где контакт с контро- 5 лируемой пленкой обеспечивает химически нейтральный к ней электролит, . резко увеличивающий свое сопротивление под .действием тока, позволяет контролировать пленки без, их разрушения с высокой точностью.

Формула и зобре тени я

Способ контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводящей подложке, заключающийся в смачивании пленки электролитом, пропускании через электролит и пленку постоянного электрического тока, регистрации силы тока и определении толщины пленки по силе тока и тарировочной за.висимости, о т л и ч à ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля и обеспечения возможности контроля без разрушения пленки, пленку смачивают химически нейтральным к ней электролитом, увеличивающим свое электрическое сопротивление под действием электрического тока, а с тарировочной зависимостью сравнива- . ют максимальное значение зарегистри;

1 рованной силы тока.