Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос

Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Между первой турбомолекулярной и второй молекулярной, ступенями насоса ротор (Р) 6 имеет торцовый участок 11. На поверхности последнего выполнены спиральные канавки 12, причем внешний диаметр цилиндрического участка 10 Р 6 равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков 8. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0 2

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4437716/25-29 (22) 07.06.88 (46) 23.06.90. Бюл. № 23 (72) Б. В. Харламов, Б. Д. Жлукто и В. И. Гагарин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1285198, кл. F 04 D 19/04, 1985.

„„SU„„1573234 А 1

2 (54) ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Между первой турбомолекулярной и второй молекулярной ступенями насоса ротор (Р) 6 имеет торцовый участок 11. На поверхности последнего выполнены спиральные канавки 12, причем внешний диаметр цилиндрического участка 10 P 6 равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков 8. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.

1573234

Формула изобретения

Соста ни тель В. Кряковки н

Редактор А. Мотыль Техред А. Кравчук Корректор С. Шевкун

Заказ 1632 Тираж 500 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Рву шская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, разме1ценные на внутренней поверхности корйуса, l статорные лопаточные диски 3 первой ступени, статор 4 второй ступени с каналами 5 на внутренней поверхности, имеющими уменьшающуюся по ходу газа глубину, и ротор 6 с валом 7, установленным по оси корпуса 1 на опорах 8, роторными лопаточными дисками 9, ответными статорным дискам 3 первой ступени, цилиндрическим участком 10, ответным статору 4 второй ступени, и торцовым участком 11, на котором выполнены спиральные канавки 12. Кроме того, на корпусе 1 между ступенями расположен дополнительный патрубок 13, а внешний диаметр цилиндрического участка 10 ротора 6 равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков 9.

Насос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 через входной патрубок 2, откуда, взаимодействуя с лопатками роторных и статорных дисков 9 и 3, переносится в зону торцового участка I l с канавками 12.

По канавкам 12 газ переносится к наружному диаметру цилиндрического участка 10

А-А ротора 6. Далее газ переносится на сторону нагнетания по каналам 5 статора 4. Проникновению паров смазки со стороны нагнетания на сторону всасывания насоса препятствует защитный газ, подаваемый между ступенями насоса через патрубок 13.

Улучшение откачных характеристик„в первую очередь степени сжатия насоса, осуществляется вследствие обеспечения дополнительной откачивающей ступени на торцо10 вой поверхности ротора.

1. Двухступенчатый турбомолекулярный

15 вакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком, размещенные на внутренней. поверхности корпуса статорные лопаточные диски первой ступени, статор второй ступени с каналами на внутренней поверхности, имеющими уменьшающуюся по ходу

2О газа глубину, и ротор с валом, установленным по оси корпуса на опорах, роторными лопаточными дисками, ответными статорным дискам первой ступени, цилиндрическим участком, ответным статору второй ступени, и торцовым участком, расположенным между ступенями, отличающийся тем, что с целью улучшения откачных характеристик, на торцовом участке выполнены спиральные канавки.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, ЗО что внешний диаметр цилиндрического участка ротора равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков.