Аморфный сплав на основе рения

Реферат

 

Изобретение относится к аморфным металлическим сплавам, в частности к сплавам на основе рения, используемым в радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике. Целью изобретения является повышение термической стабильности, удельного электросопротивления, температуры сверхпроводящего перехода и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления сплава. Предложенный аморфный сплав содержит компоненты в следующем соотношении, мас. % : ниобий 9,8 - 23,2, рений - остальное. Предложенный аморфный сплав имеет температуру кристаллизации 815 - 1155С, удельное электросопротивление 225 - 285 мк Ом см, температуру перехода в сверхпроводящее состояние 6,8 - 7,36 К, температурный коэффициент электросопротивления (-) (3-4)10-5 град-1. 1 табл.

Изобретение относится к аморфным металлическим сплавам, в частности к сплавам на основе рения, используемым в радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике. Цель изобретения - повышение термической стабильности, удельного электросопротивления, температуры сверхпроводящего перехода и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления сплава. Примеры конкретного выполнения. Составы предложенного сплава, приведенные в таблице, получают на установке трехэлектродного ионно-плазменного распыления. В качестве подложки используется алюминиевая фольга, охлаждаемая через подложкодержатель жидким азотом. Содержание примесей в предложенном сплаве не превышает, ат. % : углерод 0,14, кислород 0,13, азот 0,12, аргон 0,12. Свойства предложенного и известного сплавов приведены в таблице. Как следует из приведенных в таблице данных, предложенный аморфный сплав на основе рения обеспечивает по сравнению с известным сплавом повышение термической стабильности, удельного электросопротивления, температуры сверхпроводящего перехода и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления. (56) Золотухин И. В. Физические свойства аморфных сплавов. - М. : Металлургия, 1986, с. 242. Савицкий Е. М. , Тылкина М. А. , Левин А. М. Сплавы рения в электронике. - М. : Энергия, 1980, с. 216.

Формула изобретения

АМОРФНЫЙ СПЛАВ НА ОСНОВЕ РЕНИЯ, содержащий ниобий, отличающийся тем, что, с целью повышения термической стабильности, удельного электросопротивления, температуры сверхпроводящего перехода и уменьшения температурного коэффициента электросопротивления сплава, он содержит компоненты в следующем соотношении, мас. % : Ниобий 9,8 - 23,2 Рений Остальное

РИСУНКИ

Рисунок 1