Способ изготовления толстопленочных резисторов

Способ изготовления толстопленочных резисторов

Реферат

Способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий формирование на диэлектрической подложке резистивного элемента, термическую обработку, ионную очистку поверхности резистивного элемента и создание контактов к нему, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет снижения и стабилизации величины, контактного сопротивления, ионную очистку поверхности резистивного элемента проводят при напряжении пучка ионов 2 - 4 кВ и плотности потока ионов 6 - 10мА/см² в течение 0,5 - 4 ч.