Композиция для защиты поверхности полупроводниковых приборов
Реферат
Изобретение относится к композициям для защиты кристаллов полупроводниковых приборов и может быть использовано в электронной и радиотехнической промышленности. Изобретение позволяет увеличить срок хранения композиции до 6 мес, снизить коррозионную активность композиции к меди в парах воды за трое суток до 0 баллов и уменьшить внутренние механические напряжения в покрытиях до 0,02 кгс/см2. Композиция включает, мас. ч.: низкомолекулярный полидиметилдифенилсилоксановый каучук СКТН 2 Ф6 100,0; трис - (ацетоксимокси) винилсилан 1,0 - 5,0; 1,1 бис-[диметил(изооктокси)силил] ферроцен 0,1 - 1,0 и эпоксипропоксипропилтриэтоксилилан 0,1 - 1,0. Композицию получают последовательным введением в смеситель с эмалированной внутренней поверхностью каучука, 1,1 - бис-[диметил(изооктокси)силил]ферроцена, - эпоксипропоксипропилтриэтоксилилана и трис-(ацетоксимокси) винилсилана. Композиция может содержать наполнитель: аэросил, диоксид титана и сульфат бария. 2 табл.
Изобретение относится к композициям для защиты кристаллов полупроводниковых приборов и может быть использовано в электронной и радиотехнической промышленности. Целью изобретения является увеличение срока хранения композиции, уменьшение ее коррозионной активности и снижение внутренних механических напряжений в покрытиях на ее основе. В качестве низкомолекулярного каучука используют каучук СКТН2Ф6 (ТУ 38-403-357-80), трис-(ацетоксимокси)винилсилан (продукт 119-54) соответствует ТУ6-02-1-312-78, 1,1'-бис-[диметил(изооктокси)силил] ферроцен (продукт ОСФ) соответствует ОСТ 6-02-17-78, -эпоксипропоксипропилтриэтоксисилан (кремнийорганическая жидкость ЭС-1) соответствует ТУ 6-02-1077-76. Композицию получают смешением компонентов в смесителе с эмалированной внутренней поверхностью, причем в каучук последовательно добавляют 1,1'-бис-[диметил(изооктокси)]силилферроцен, -эпоксипропоксипропилтриэтоксисилан и трис-(ацетоксимокси)винилсилан. Кроме того, композиция может содержать наполнители аэросил, диоксид титана и сульфат бария. П р и м е р ы 1 6. Композиции по примерам получают, как описано выше. Составы композиций приведены в табл.1, а их свойства и свойства покрытий на их основе в табл.2.
Формула изобретения
Композиция для защиты поверхности полупроводниковых приборов, включающая низкомолекулярный диметилсилоксановый каучук, трис-(ацетоксимокси) винилсилан и 1,1 -бис-[диметил(изооктокси) силил]ферроцен, отличающаяся тем, что, с целью увеличения срока хранения композиции, уменьшения ее коррозионной активности и снижения внутренних механических напряжений в покрытиях на ее основе, в качестве низкомолекулярного диметилсилоксанового каучука композиция содержит низкомолекулярный полидиметилдифенилсилоксановый каучук и дополнительно содержит -эпоксипропоксипропилтриэтоксисилан при следующем соотношении компонентов, мас.ч. Низкомолекулярный полидиметилдифенилсилоксановый каучук 100,0 Трис-(ацетоксимокси)винилсилан 1,0 5,0 1,1 -Бис-[диметил(изооктокси)силил]ферроцен 0,1 1,0 -Эпоксипропоксипропилтриэтоксисилан 0,1 1,0РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Дата прекращения действия патента: 18.11.1996
Номер и год публикации бюллетеня: 33-2001
Извещение опубликовано: 27.11.2001