Патент ссср 159089

Патент ссср 159089

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ

И.З О Б Р E T Е Н И.Н

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 159089

Класс48Ь, 1- о

ЪЕПК С 23с

Заяалено 16.VI.1962 (¹ 813637 22-2) ГОЮУААРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО AEhAM

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Опубликовано 22.Х1.1963. Бюллетень ¹ 23

Подггисггая грутга ¹ 208

М. И, Якунин

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ВЕЩЕСТВ

МЕТОДОМ КАТОДНОГО РАСПЪ|ЛЕНИЯ » с устройствах для получения Прн папессiillli покрытий на диэлектрнчсеществ кятодг!ыл! распылением сине подложl и 2нод031 служат две ялюмнннсОлнсны В виде сектОрных пл а- вые Ilpo»oлоl н О, Iioiiещ! нныс межд като;10: н по;!.чожl а ми. этого электроды описываемо- Процесс распылегн!я ведется в среде аргоимеют протяженную форму, i!а, пРн;!авленнн .0,02 31-1! Рт. ст,, непРСРывки асположены вок уг като- НОН ОТКЯЧКЕ К!1 1ЕРЫ II ПО;1ЯЧС 2РГОН2.

Предмет изобретения

В известных тонких слоев в электроды вып стин.

В отличие от

ro устройства причем подлож р р. да на расстоянии, сравнительно меньшем его длины.

Это позволяет экономить распыляемые материалы и увеличивает производительность устройства.

На чертеже изображено описываемое устройство, общий i:Iiz. Оно представляет собой распылительную камеру 1. В полости ее, в центре, на проходном изоляторе 2 укреплен проволочный катод 8. Подложка 4 цилиндрической формы расположена коакснально катоду.

Устройство для полу-!BI!IIII ToiiIilIx c210åè веществ методом катодного рас1!ылсння, о тл ич а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения производительности устроЙства Ii ai

5g() gg

Состави re.is T. Фирсова

Рсдактор И. Л. Якубович Техред Л. К. Ткаченко Корректор Т. Д. Хромцева

Поди. и печ, 8/XII — б3 r. <1>орииar бум. 60/90, „ Объем 0,23 изд, си

Заказ 3!70/3 Тираж !450 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государствеппого комитета Ilo, ÷ñëà;,i изобретений! и открытии СССР

Москва, IJpliTIJ, Jlp Серова, д, 4

Типография, пр. Сапуцива, 2